升降板滑动连接在导轨上。进一步地，为了使托臂能够在水平方向上自由移动。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。以便更好地承托晶圆，托臂通过移动模块安装在升降板上，移动模块与控制...

以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。所述转动杆的两端与所述限位盘和第二限位盘可拆卸连接，和/或所述转动杆的两端与所述限位盘和第二限位盘滑动连接，且所述转动杆的两端能够相对所述限位盘和第二限位盘固定。进一步地，所述限位盘和所述第二限位盘分别沿其周向设置有导向槽，所述转动杆滑动连...

泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。防止显影时光刻胶图形的脱落以及防止湿法腐蚀时产生侧面腐蚀(sideetching)。光刻胶的涂敷是用转速和旋转时间可自由设定的甩胶机来进行的。首先、用真空吸引法将基片吸在甩胶机的吸盘上，把具有一定粘度的光刻胶滴在基片的表面，然后以设定的转速和时间甩胶。由于离心力的作用，光刻胶在基片表面均匀地展开，多余的光刻胶被甩掉，获得一定厚度的光刻胶膜，光刻胶的膜厚是由光刻胶的粘度和甩胶的转速来控制。所谓光刻胶，是对光、电子束或...

生长的单晶硅棒直径越大。而切出的晶圆片的厚度与直径有关，虽然半导体器件的制备只在晶圆的顶部几微米的范围内完成，但是晶圆的厚度一般要达到1mm，才能保证足够的机械应力支撑，因此晶圆的厚度会随直径的增长而增长。晶圆制造厂把这些多晶硅融解，再在融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。晶圆基本原料编辑晶圆硅是由石英砂所精练出来的，晶圆便是硅元素加以纯化（），接着是将这些纯硅制成...

我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。安装板安装在晶圆视觉检测机上，升降驱动器通过升降丝杆机构与升降板连接，升降丝杆机构竖直安装在安装板上，升降丝杆机构的输入端与升降驱动器的输出端连接，升降丝杆机构的输出端与升降板连接。安装板是整个升降装置的承载基础。安装板和升降驱动器均竖直固定在晶圆视觉检测机上。安装板上安装有升降丝杆机构，利用升降丝杆机构传递动力，具有传递精度高的优点。具体的，升降丝杆机构包括竖直安装在安装板上的升降丝杆和升降螺母接在升降丝杆上的升降螺母，升降丝杆与升降电机的输出端连接，随升降电机的输...

也即太阳轮的轮轴与驱动轮盘的中心连接轴同轴；行星架的行星轮与片盒架的限位盘的转动轴连接，且每个行星轮至多连接一个限位盘的转动轴，每个行星轮的轴线与其对应的转动轴共线设置；行星架的齿圈固定设置。其中，每个片盒架的转动轴都需要连接一个行星轮，以实现片盒架的自转，但是行星轮的数量可以大于片盒架的数量，多余的行星轮可以是空转，也即不连接片盒架。推荐的，行星轮与片盒架的数量一一对应设置，在本实施例中，行星架的行星轮的数量为个，片盒架的数量为个，行星轮与片盒架一一对应设置。在本实施例中，如图所示，行星架的太阳轮设置在驱动轮盘靠近从动轮盘的一侧，驱动轮盘的背离被动驱动轮盘的一侧设置有与电机等驱动机构...

从动轮盘与竖向杆面向齿圈固定板的一侧转动连接。底板上对应驱动轮盘的周向边缘设置有轴承，驱动轮盘的周向边缘转动设置在轴承上。推荐的，底板还设置有相对设置的两个限位轮座，轴承和驱动轮盘设置在两个限位轮座之间。其中，齿圈固定板可以是与行星架的齿圈为一体构造，也即如图所示，齿圈固定板上的通孔上沿其周向设置内齿作为齿圈。轴承可为法兰轴承，数量可为两个，两个轴承分别设置在两个限位轮座之间，且每个轴承设置在一个限位轮座上，轴承与限位轮座均位于驱动轮盘的下方。轴承的设置不能够支撑驱动轮盘，使驱动轮盘能够转动，且配合限位轮座能够限位驱动轮盘的位置，同时还可使得固定架在水平设置时，从动轮盘与底板泰克光电（...

溅镀钛+氮化钛+铝+氮化钛等多层金属膜。离子刻蚀出布线结构，并用PECVD在上面沉积一层SiO2介电质。并用SOG(spinonglass)使表面平坦，加热去除SOG中的溶剂。然后再沉积一层介电质，为沉积第二层金属作准备。（1）薄膜的沉积方法根据其用途的不同而不同，厚度通常小于1um。有绝缘膜、半导体薄膜、金属薄膜等各种各样的薄膜。薄膜的沉积法主要有利用化学反应的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理现象的PVD(physicalvapordeposition)法两大类。CVD法有外延生长法、HCVD，PECVD等。PVD有溅射法和真空蒸发法。一般而言，PV...

-第二限位盘；-晶圆。具体实施方式下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图和图所示，本实施例提供一种晶圆加工固定装置，用于在晶圆的清洗步骤中，固定晶圆。该晶圆加工固定装置包括安装座、固定架和片盒架。固定架可转动的安装在安装座上，片盒架可转动的安装在固定架上。固定架能够带动片盒架一起转动，且片盒架能够同步相对固定架自转，固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置。可以理解的是，固定架的旋转轴线...

我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。安装板安装在晶圆视觉检测机上，升降驱动器通过升降丝杆机构与升降板连接，升降丝杆机构竖直安装在安装板上，升降丝杆机构的输入端与升降驱动器的输出端连接，升降丝杆机构的输出端与升降板连接。安装板是整个升降装置的承载基础。安装板和升降驱动器均竖直固定在晶圆视觉检测机上。安装板上安装有升降丝杆机构，利用升降丝杆机构传递动力，具有传递精度高的优点。具体的，升降丝杆机构包括竖直安装在安装板上的升降丝杆和升降螺母接在升降丝杆上的升降螺母，升降丝杆与升降电机的输出端连接，随升降电机的输...

本实用新型实施例推荐实施例的一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其包括控制系统、升降装置、承接装置和感应装置，升降装置包括升降驱动器和升降板，升降驱动器安装在晶圆视觉检测机上，升降驱动器的输入端与控制系统电连接。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工...

作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。所述移动电机驱动所述传动组件带动所述托臂在所述固定板上滑动。作为推荐方案，所述传动组件包括主动轮、从动轮和同步带，所述主动轮连接在所述移动电机的输出端，所述从动轮可转动地安装在所述固定板上，所述主动轮和所述从动轮通过所述同步带相连接，所述托臂固...

工作人员可以通过控制系统控制升降电机驱动升降板在竖直方向上移动。承接装置包括至少一个托臂，托臂与升降板连接，可随升降板上下移动。在搬运晶圆时，托臂位于夹取机构的正下方，且靠近晶圆。夹取机构夹取晶圆后，可将晶圆拖到托臂上，由升降驱动器驱动升降板和托臂下降，带动晶圆下降到检测位置。从源头上杜绝了因夹取机构机器故障而松开晶圆，导致晶圆从高处掉落的事故，减少了晶圆受损的概率，使得晶圆运输更加可靠。感应装置安装在托臂上，用于感应晶圆是否被拖放到位，感应装置与控制系统电连接，可将晶圆的位置数据传输给控制系统，控制系统再控制升降装置带动托臂升降到位，以使托臂尽量靠近夹取机构。在本实施例中，感应装置具...

作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。所述移动电机驱动所述传动组件带动所述托臂在所述固定板上滑动。作为推荐方案，所述传动组件包括主动轮、从动轮和同步带，所述主动轮连接在所述移动电机的输出端，所述从动轮可转动地安装在所述固定板上，所述主动轮和所述从动轮通过所述同步带相连接，所述托臂固...

夹取机构将晶圆拖到承载装置上，由升降装置带动承载装置下降到检测位置，能够防止因夹取机构夹不紧，使得晶圆从高处跌落，造成损坏的情况发生，使得晶圆运输更加安全可靠。附图说明图是本实用新型实施例提供的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构的立体图；图是本实用新型实施例提供的升降装置的立体图；图是本实用新型实施例提供的移动模块的立体图；图是本实用新型实施例提供的托臂、滑轨和滑块的连接结构示意图。图中，、感应装置；、承接装置；、托臂；、限位部；、承托部；、升降装置；、升降驱动器；、升降板；、安装板；、升降丝杆机构；、联轴器；、移动模块；、固定板；、移动电机；、传动组件；、主动轮；、从动轮；、同步带；、滑轨...

泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种晶圆加工固定装置及晶圆加工设备。背景技术：半导体元件在生产过程中极易受到微粒、金属离子、...

PECVD等。PVD有溅射法和真空蒸发法。一般而言，PVD温度低，没有毒气问题；CVD温度高，需达到1000oC以上将气体解离，来产生化学作用。PVD沉积到材料表面的附着力较CVD差一些，PVD适用于在光电产业，而半导体制程中的金属导电膜大多使用PVD来沉积，而其他绝缘膜则大多数采用要求较严谨的CVD技术。以PVD被覆硬质薄膜具有度，耐腐蚀等特点。（2）真空蒸发法（EvaporationDeposition）采用电阻加热或感应加热或者电子束等加热法将原料蒸发淀积到基片上的一种常用的成膜方法。蒸发原料的分子（或原子）的平均自由程长（10-4Pa以下，达几十米），所以在真空中几乎不与其他分...

且所述片盒架能够相对所述固定架自转，所述固定架的旋转轴线与所述片盒架的旋转轴线非共线设置。进一步地，所述片盒架的数量为多个，多个所述片盒架沿所述固定架的旋转方向间隔设置在所述固定架上。进一步地，所述固定架包括驱动轮盘、从动轮盘和连接杆，所述驱动轮盘与所述从动轮盘同轴相对设置，且，所述驱动轮盘和所述从动轮盘分别可转动的安装在所述安装座上，所述连接杆固定连接在所述驱动轮盘与所述从动轮盘之间；所述片盒架转动连接在所述驱动轮盘和所述从动轮盘之间。进一步地，所述片盒架包括同轴相对设置的限位盘和第二限位盘，所述限位盘与所述第二限位盘之间设置有多根限位杆，多根所述限位杆沿所述限位盘的周向间隔设置，多...

-第二限位盘；-晶圆。具体实施方式下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图和图所示，本实施例提供一种晶圆加工固定装置，用于在晶圆的清洗步骤中，固定晶圆。该晶圆加工固定装置包括安装座、固定架和片盒架。固定架可转动的安装在安装座上，片盒架可转动的安装在固定架上。固定架能够带动片盒架一起转动，且片盒架能够同步相对固定架自转，固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置。可以理解的是，固定架的旋转轴线...

我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。安装板安装在晶圆视觉检测机上，升降驱动器通过升降丝杆机构与升降板连接，升降丝杆机构竖直安装在安装板上，升降丝杆机构的输入端与升降驱动器的输出端连接，升降丝杆机构的输出端与升降板连接。安装板是整个升降装置的承载基础。安装板和升降驱动器均竖直固定在晶圆视觉检测机上。安装板上安装有升降丝杆机构，利用升降丝杆机构传递动力，具有传递精度高的优点。具体的，升降丝杆机构包括竖直安装在安装板上的升降丝杆和升降螺母接在升降丝杆上的升降螺母，升降丝杆与升降电机的输出端连接，随升降电机的输...

这种装置称为磁控溅射装置（magnetronsputterapparatus），以高电压将通入惰性氩体游离，再藉由阴极电场加速吸引带正电的离子，撞击在阴极处的靶材，将欲镀物打出后沉积在基板上。一般均加磁场方式增加电子的游离路径，可增加气体的解离率，若靶材为金属，则使用DC电场即可，若为非金属则因靶材表面累积正电荷，导致往后的正离子与之相斥而无法继续吸引正离子，所以改为RF电场（因场的振荡频率变化太快，使正离子跟不上变化，而让RF-in的地方呈现阴极效应）即可解决问题。光刻技术定出VIA孔洞沉积第二层金属，并刻蚀出连线结构。然后，用PECVD法氧化层和氮化硅保护层。光刻和离子刻蚀定出PA...

泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构。背景技术：目前，集成电路产业是我国大力发展的重要科技产业，...

本实施例晶圆加工固定装置由于固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线是非共线的，所以固定架能够带动片盒架在清洗槽内旋转，使得片盒架能够与清洗槽内的不同位置的清洗液接触。泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，...

达到阻止下一步中n型杂质注入P型阱中。去除SIO2层退火处理，然后用HF去除SiO2层。干法氧化法干法氧化法生成一层SiO2层，然后LPCVD沉积一层氮化硅。此时P阱的表面因SiO2层的生长与刻蚀已低于N阱的表面水平面。这里的SiO2层和氮化硅的作用与前面一样。接下来的步骤是为了隔离区和栅极与晶面之间的隔离层。光刻技术和离子刻蚀技术利用光刻技术和离子刻蚀技术，保留下栅隔离层上面的氮化硅层。湿法氧化生长未有氮化硅保护的SiO2层，形成PN之间的隔离区。生成SIO2薄膜热磷酸去除氮化硅，然后用HF溶液去除栅隔离层位置的SiO2，并重新生成品质更好的SiO2薄膜,作为栅极氧化层。氧化LPCV...

我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。安装板安装在晶圆视觉检测机上，升降驱动器通过升降丝杆机构与升降板连接，升降丝杆机构竖直安装在安装板上，升降丝杆机构的输入端与升降驱动器的输出端连接，升降丝杆机构的输出端与升降板连接。安装板是整个升降装置的承载基础。安装板和升降驱动器均竖直固定在晶圆视觉检测机上。安装板上安装有升降丝杆机构，利用升降丝杆机构传递动力，具有传递精度高的优点。具体的，升降丝杆机构包括竖直安装在安装板上的升降丝杆和升降螺母接在升降丝杆上的升降螺母，升降丝杆与升降电机的输出端连接，随升降电机的输...

达到阻止下一步中n型杂质注入P型阱中。去除SIO2层退火处理，然后用HF去除SiO2层。干法氧化法干法氧化法生成一层SiO2层，然后LPCVD沉积一层氮化硅。此时P阱的表面因SiO2层的生长与刻蚀已低于N阱的表面水平面。这里的SiO2层和氮化硅的作用与前面一样。接下来的步骤是为了隔离区和栅极与晶面之间的隔离层。光刻技术和离子刻蚀技术利用光刻技术和离子刻蚀技术，保留下栅隔离层上面的氮化硅层。湿法氧化生长未有氮化硅保护的SiO2层，形成PN之间的隔离区。生成SIO2薄膜热磷酸去除氮化硅，然后用HF溶液去除栅隔离层位置的SiO2，并重新生成品质更好的SiO2薄膜,作为栅极氧化层。氧化LPCV...

作为推荐方案，所述固定板的顶部设有至少一条滑轨，所述托臂的底部通过滑块滑动连接在所述滑轨上，所述滑块的顶部与所述托臂的底侧固定连接，所述滑块的底部与所述滑轨滑动连接。本实用新型实施例提供的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构与现有技术相比，其有益效果在于：本实用新型实施例的晶圆移载机构包括控制系统、升降装置、承接装置和感应装置，承接装置包括托臂。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚...

也即太阳轮的轮轴与驱动轮盘的中心连接轴同轴；行星架的行星轮与片盒架的限位盘的转动轴连接，且每个行星轮至多连接一个限位盘的转动轴，每个行星轮的轴线与其对应的转动轴共线设置；行星架的齿圈固定设置。其中，每个片盒架的转动轴都需要连接一个行星轮，以实现片盒架的自转，但是行星轮的数量可以大于片盒架的数量，多余的行星轮可以是空转，也即不连接片盒架。推荐的，行星轮与片盒架的数量一一对应设置，在本实施例中，行星架的行星轮的数量为个，片盒架的数量为个，行星轮与片盒架一一对应设置。在本实施例中，如图所示，行星架的太阳轮设置在驱动轮盘靠近从动轮盘的一侧，驱动轮盘的背离被动驱动轮盘的一侧设置有与电机等驱动机构...

泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。而后通过固定架带动片盒架转动，且片盒架自转，使得片盒架上的晶圆与清洗槽内的清洗液(药液)充分接触，完成晶圆的清洗操作。本发明晶圆加工固定装置由于固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线是非共线的，所以固定架能够带动片盒架在清洗槽内旋转，使得片盒架能够与清洗槽内的不同位置的清洗液接触，可以使浸...

泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置，也即固定架的旋转轴线与片盒架的自转的旋转轴线相交或平行，也即固定架和片盒架的旋转轨迹是不重合的，以使固定架带动片盒架的旋转与片盒架的自转能够是两种不同的旋转。固定架带动片盒架的旋转是为了实现片盒架与清洗槽内的不同位置的清洗液接触，由于在清洗晶圆的过程中，一般清洗槽是水平放置的，固定架推荐可绕水平的旋转轴线转动，以带动片盒架在清洗槽的不同深度移动，片盒架的旋转轴线可以是如...