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上海SiC探针台

来源: 发布时间:2023年06月06日

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围:手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。探针台基本配置包含探针台主体、显微镜、针座、探针等。上海SiC探针台

手动探针台的使用方式:1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,***则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。6.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。成都毫米波探针台探针台由哪些部分组成?

探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业重要的检测配备之一,其广泛应用于杂乱、高速器材的ing密电气测量,旨在保证质量及可靠性,并缩减研发时刻和器材制作工艺的本钱。探计台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测验环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针触模并逐人测验。在半导体器材与集成电路制作工艺中,从单晶硅棒的制取到ZU终器材制作的完结需经过杂乱的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。

探针台是半导体行业重要的检测装备之一,其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。半导体测试可以按生产流程可以分为三类:验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外,晶圆检测环节还需要使用测试仪/机,测试仪/机用于检测芯片功能和性能,探针台实现被测芯片与测试机的连接,通过探针台和测试机的配合使用,可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试,可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。探针台应用需求持续攀升,行业发展前景较好。

探针台操作步骤:1.将测试产品放入探针台的台盘上;2.打开显微镜光源灯(LED或光源机);3.打开背光面板光源开关;4.调整Zaxis高度对焦,使能清楚看到样品图象为OK;5.调整目镜和Zoom倍率,使影像清晰;二.点针操作步骤:1.通过移动镜头组部分找到Sample要下针的地方;2.调整针座位置,将三轴归零;3.调整针座仰角机构,使针尖位于显微镜射出光斑**上方1-2mm处;4.利用低倍镜头找到针尖,将针尖移至视野**位置并通过调整焦距使针尖达到*清晰;6.切换至高倍镜头,找到针尖;7.利用针座的X-Y-Z轴微调下针;8.量测完毕后,逆时针旋转钮针座的仰角机构的旋钮取出快速将针往上抬起,针尖即可移开针Sample;移动座平台或者显微镜相关移动机构时,请注意小心避免与镜头或被测品碰撞9.移开针座,取出背光面板光源和光源灯等电源.探针台规范操作步骤。大功率测试探针台品牌排行榜

探针台搭配源表或者半导体参数分析仪进行电参数测试。上海SiC探针台

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速露件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流、电阳以及电容电压特性线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途.激光探针台主要检测内容:1、激光打标;2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);3、驱除短路点;4、激光断线,5、干扰芯片测试;除了以几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:1.微小连接点信号引出2.失效分析失效确认3.FIB电路修改后电学特性确认4.晶圆可靠性验证上海SiC探针台

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