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PIV测试探针台技术改造

来源: 发布时间:2023年05月05日

到手动探针台,它的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。它是陈本比较高的仪器,不光是要在使用时好好维护,不用时也需要好好保存。怎样保存呢?1、仪器的运输:仪器运输时,请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。2、避免碰撞:在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。3、停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护手动探针台寿命。4、手动探针台应放在稳定可靠的台面上,比如具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。5、使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精是易燃物,使用是要注意。探针台的正确配置选型。PIV测试探针台技术改造

手动探针台基本配置(包含探针台主体、显微镜、针座、探针等),探针台主体-可测试晶圆尺寸:4英寸weili-样品台行程:100mm*100mm-移动分辨率:~:360度-低漏电底栅接口,标准Triax输出-可选400度高温样品台显微镜-三目连续变倍体镜,LED环形照明-光学变倍总倍率45倍,物镜,总放大倍率约700倍针座-磁性吸附底座,XYZ移动范围:12mm-移动分辨率2um-标配4个,可装6个-漏电设计,漏电流探针低于100fA-Triax标准接口输出,Keithley原装低噪声Triax线缆-低漏设计电探针,针尖探针探针直径标配10um,1um尺寸。 低阻测试探针台加装双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求。

探针台是半导体行业重要的检测装备之一,其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。半导体测试可以按生产流程可以分为三类:验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外,晶圆检测环节还需要使用测试仪/机,测试仪/机用于检测芯片功能和性能,探针台实现被测芯片与测试机的连接,通过探针台和测试机的配合使用,可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试,可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。

桌面探针系统

众所周知探针台用于半导体测试,特别是6英寸或者12英寸的晶圆探针台。因为受尺寸限制,导致大尺寸等规格不符的待测物无法进行测试,从而使得众多产品无法得到验证。

对于除了半导体、晶圆、芯片需要测试以外,如同大尺寸电路板、高频高速电路、射频微波器件、高速连接器等所需测试的产品也是需要进行阻抗、S参数的测试。特别是现在高频高速已经进入了56G、112G,单波NRZ通道已经到了56GHz的电信号的时代。所以高频、高速等系列电路板各个通道以及载体都需要进行产品的性能测试。

因此研发推出了桌面探针系统及各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。 半导体测验设备首要包含测机、探针台和分选机。

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源,用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路,其中一路为导入光通路,另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源,波长范围200nm~20000nm,中间可加入多个波片过滤,起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计,对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关,精确控制导入光的辐照时间,精度1ms,范围2ms~∞,在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像,其中一路为1倍成像,可选择第2路成像,为物镜的0.25~10倍率,通常在高低温测试系统里会用到,同一个物镜不切换,得到两个不同视野的成像。平面电机x-y步进工作台的维护与保养。低阻测试探针台加装

光电流测试探针台系统。PIV测试探针台技术改造

探针台主要被应用在半导体、集成电路以及封装的测试,主要是保证产品的质量,且缩短制造成本。按照不同功能,探针台可被分为多种类型,如LCD探针台、高/低温探针台、RF探针台。受益于半导体产业的发展,探针台应用需求持续攀升,行业发展前景较好。半导体检测是半导体生产中关键一环,在半导体检测设备市场结构中,探针台占比约为16%。在全球中,受益于智能手机、人工智能等产业的快速发展,半导体需求攀升,半导体测试设备市场规模也随之增长,在2021年达到76亿美元。探针台作为重要设备,受益于半导体产业发展,市场需求持续攀升,市场规模持续增长。PIV测试探针台技术改造

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