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FINFET探针台规格尺寸

来源: 发布时间:2023年05月05日

很多人都不了解探针台,因为很少接触到。但是,它在的作用是非常大的,它的使用步骤我们还是需要了解的。下面,小编就带大家了解一下它的使用步骤。希望能对大家有所帮助。1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。2、运用卡盘X轴、Y轴控制旋钮挪动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调整明晰,带测点在显微镜视场中间。4、待测点地位确认好后,再调整探针座的地位,将探针台探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的地位旁边,再运用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,渐渐的将探针移至被测点,此时举措要小心且迟缓,以防举措过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针行进少许,再运用Z轴旋钮停止下针,刚开始则运用X轴旋钮左右滑动,察看能否有少许划痕,证明能否曾经接触。5、确保针尖和被测点接触良好后,则可以经过衔接的测试设备开端测试。手动探针台的工作原理。FINFET探针台规格尺寸

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围:手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。FINFET探针台规格尺寸探针台由哪些部分组成?

探针台应用手动探针台广泛应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件(如IC、晶圆、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。

    微纳探针台可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表特征:1、快速、精确、稳定微纳探针台包含4个压电三轴探针臂,每个三轴配备1个可拆卸式电学探针接口,可在毫米级尺度上进行宏观运动并实现纳米尺度上的微观运动。2、使用场景多样化微纳探针台结构紧凑,占用空间小,运动行程大,可匹配各种显微镜样品台,真空室,光学试验台等工作条件。3、完善的技术解决方案微纳探针台与尼康金相显微镜/SR-Scopel集成形成的探针台电学测量系统,为宏观行程上进行的微观尺度电学及表征测量提供了具体的解决方案。4、直观、方便微纳探针台通过手柄控制,具有多级宏观调速,脉冲运动,以及位移微调功能,宏观运动速度跨度在5um/s~2mm/s,单点脉冲步进可达300nm以下,微调运动分辨率小于1nm,在显微镜下操作更直观,方便,精细。5、高度集成微纳探针台电学测量系统,配备完善的光学显微镜模块,配备亮度调节,增益和变焦等功能,与电脑连接后,可实现图像快照,尺寸测量和标注,视频记录等常规功能。 光电流测试探针台系统。

M系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑,设计精密,价格实惠,在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到运用。配合对应的仪器仪表,可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内,配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。产品优势:探针台与显示器一体化设计,大大减小了设备的占地空间具备自适应减震系统,一定程度上可防止外界震动的干扰U型平台镀镍设计,不仅增大了针座的加载空间,还提高了针座平台和针座之间的吸附力 电路板各通道及载体高频高速测试。FINFET探针台规格尺寸

探针台的正确配置选型。FINFET探针台规格尺寸

高温探针台作为一种高科技产品,价格昂贵,生产成本高,这需要我们在使用时格外注意,以免造成经济损失。那么,我们在使用时应该如何维护和保养高温探针台呢?1、避免碰撞在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。2、仪器的运输仪器运输时,请先拔掉电源线插头。高温探针台运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。3、仪器的存放使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。4、清洁探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。高温探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。5、停止运行停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员一定要严格按要求进行使用,以保证数据的准确和仪器的正常使用。6、工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上,比较好的是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用电源:220±10%,50~60HzFINFET探针台规格尺寸

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