轮廓仪的物镜知多少? 白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理，以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等） 几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和集体，特征图形的位置和数量等） 白光干涉系统基于无限远显微镜系统，通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。 因此物镜是轮廓仪****的部件， 物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求，为了满足各种精度的需求，需要提供各种物镜，例如标配的10×， 还有2.5×，5×，20×，50×，...

超纳轮廓仪的主设计简介: 中组部第十一批“****”****，美国KLA-Tencor（集成电路行业检测设备市场的**企业）***研发总监，干涉测量技术**美国上市公司ADE-Phaseift的总研发工程师，创造多项干涉测量数字化所需的关键算法，在光测领域发表23个美国专利和35篇学术论文3个研发的产品获得大奖，国家教育部***批公派研究生,83年留学美国。光学轮廓仪可广泛应用于各类精密工件表面质量要求极高的如：半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，除了三维光学轮廓仪，没有其它的...

轮廓仪的技术原理 被测表面(光)与参考面(光)之间的光程差（高度差）形成干涉 移相法(PSI) 高度和干涉相位 f = (2p/l ) 2 h 形貌高度: < 120nm 精度: < 1nm RMS重复性: 0.01nm 垂直扫描法 (VSI+CSI) 精度： /1000 干涉信号~光程差位置 形貌高度: nm-mm, 精度: >2nm 干涉测量技术：快速灵活、超纳米精度、测量精度不受物镜倍率影响 以下来自网络： 轮廓仪，能描绘工件表面波度与粗糙度，并给出其数值的仪器，采用精密气浮导轨为...

轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别： 关于轮廓仪和粗糙度仪 轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品，轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状，比如：汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圆柱表面素线的直线度等参数。总之，轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量，通俗地讲，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老国标叫光洁度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。 但是，轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切，现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机，就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块，这样既可以测量轮廓尺...

NanoX-8000 系统主要性能 ▪ 菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储 ▪ 一键式系统校准 ▪ 支持连接MES系统，数据可导入SPC ▪ 具备异常报警，急停等功能，报警信息可储存 ▪ MTBF ≥ 1500 hrs ▪ 产能 : 45s/点 （移动 + 聚焦 + 测量）（扫描范围 50um） ➢ 具备 Global alignment & Unit alignment ➢ 自动聚焦范围 ： ± 0.3mm ➢ XY运动速度 **快 表面三维微观形貌测量的意义 在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多...

NanoX-系列产品PCB测量应用测试案例 测量种类 ◼ 基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸 ◼ 基板A Sold Mask粗糙度 ◼ 基板A 绿油区域3D 形貌 ◼ 基板A 绿油区域 Pad 粗糙度 ◼ 基板A 绿油区域粗糙度 ◼ 基板A 绿油区域 pad宽度 ◼ 基板A Trace 3D形貌和尺寸 ◼ 基板B 背面 Pad NanoX-8000 系统主要性能 ▪ 菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储 ▪ 一键式系统校准 ...

轮廓仪对所测样品的尺寸有何要求？ 答：轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm（可扩展），Z向测量范围比较大可达10mm，但由于白光干涉仪单次测量区域比较小（以10X镜头为例，在1mm左右），因而在测量大尺寸的样品时，全检的方式需要进行拼接测量，检测效率会比较低，建议寻找样品表 面的特征位置或抽取若干区域进行抽点检测，以单点或多点反映整个面的粗糙度参数； 4.测量的**小尺寸是否可以达到12mm，或者能够测到更小的尺寸？ 如果需要了解更多，请访问官网。 轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用。重庆轮廓仪质保期多久 一、从根源保障物件成品的准确性： 通过光学表面三维...

表面三维微观形貌测量的意义 在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评家具有**直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更***，更真实的反应零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过兑三维形貌的测量可以比较***的评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏以及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过知道加工，优化加工工艺以及加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。 表面三位微观形貌的此类昂方法非常丰富，通常可分为接触时和非接触时两种，其中以非接触式测量方法为主。 光学系统：同轴照明无限远干涉成像系统。白光干...

轮廓仪产品应用 蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析（粗抛与精抛比较） 高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探测 Oled 特征结构测量，表面粗糙度 外延片表面缺 陷检测 硅片外延表面缺 陷检测 散热材料表面粗糙度分析（粗糙度控制） 生物、医药新技术，微流控器件 微结构均匀性 缺 陷，表面粗糙度 移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法，保证了亚纳米量级的测量精度；优化软件控制系统，使每次检测时间压缩到10秒钟以内，同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。 支持连接MES...

轮廓仪的功能: 廓测量仪能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量。测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。 白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 如果您想要了解更多的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 NanoX-8000主设备尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。表面轮廓仪有哪些品牌 关于三坐标测量轮廓度及...

轮廓仪的性能 测量模式 移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI） 样 品 台 150mm/200mm/300mm 样品台（可选配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5° 可选手动/电动样品台 CCD 相机像素 标配：1280×960 视场范围 560×750um（10×物镜） 具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机 光学系统 同轴照明无限远干涉成像系统 光 源 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手动聚焦（可选电动...

我们的轮廓仪有什么优势呢 世界先进水平的产品技术 合理的产品价格 24小时到现场的本地化售后服务 无偿产品技术培训和应用技术支持 个性化的应用软件服务支持 合理的保质期后产品服务 更佳的产品性价比和更优解决方案 非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。（本段来自网络） 轮廓仪可用于Oled 特征结构测量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷检测，硅片外延表面缺 陷检测。干涉仪轮廓仪有谁在用 ...

表面三维轮廓仪对精密加工的作用： 一、从根源保障物件成品的准确性： 通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测，得出物件的误差和超差参数，**提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”，造成下游生产加工的更大偏离，**终导致整个生产链更大的损失。 二、提高效率： 智能化检测，全自动测量，检测时只需将物件放置在载物台，然后在检定软件上选择相关参数，即可一键分析批量测量。摈弃传统检测方法耗时耗力，精确度低的缺点，**提高加工效率。 三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析： 表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数，无论加工的物件使用...

轮廓仪的功能: 廓测量仪能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量。测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。 白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 如果您想要了解更多的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 NanoX-8000的XY光栅分辨率 0.1um，定位精度 5um，重复精度 1um。轮廓测量仪轮廓仪技术支持 轮廓仪在集成电路的...

如何正确使用轮廓仪 准备工作 1.测量前准备。 2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。 3.擦净工件被测表面。 测量 1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。 2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现 3.在仪器上设置所需的测量条件。 4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。 5.测量完毕，根据图纸对结果进行分析，标出结果，并保存、打印。 轮廓的角度处理: 角度处理：两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理：两直线...

轮廓仪的自动拼接功能： 条件： 被测区域明显大于视场的区域，使用自动图片拼接。 需要点击自动拼接， 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。 软件会自适应计算路径上移动的偏差，自动消除移动中偏差，减小误差。 但是误差是一定存在的。 白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节.联电轮廓仪国内代理 轮廓仪产品概述： NanoX-...