南通铝合金特气管道安装市价

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序。南通铝合金特气管道安装市价

特种气体管道配管应符合下列规定：1 按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专门使用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；2 支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；3 支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；4 当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；5 管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡。无锡高纯特气管道安装注意事项管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气。

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。

常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。特气管道工程施工注意事项：不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准。

主要的施工机具，特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、手工氩弧焊机、其他辅助工具。施工管理和现场施工的几个注意点，项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。宁波氨气特气管道安装连接图

管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。南通铝合金特气管道安装市价

特种气体管道安装要求说明：1、管道安装前，请再次检查管道，配件，阀门和预制管道，并根据设计要求进行检查。内部已经清理干净，没有杂物。2、管道的坡度方向和坡度应符合设计文件要求。3、必须严格按照设计要求来构造管道坐标，仰角等。穿过墙壁和楼板的管道通常应加套管，并且穿过墙壁的管道的长度应不小于壁厚，并且穿过地板的套管应比地板或地面高50mm，并且地板的下部应与地板齐平。穿过墙板的套管应与墙齐平。应使用石棉和其他不燃材料填充管道和套管之间的间隙。法兰，焊缝和其他连接部件的布置应易于维护，并且不得靠近墙壁，地板或管架。南通铝合金特气管道安装市价