台州检验科特气管道安装连接图

双层管特种气体管道施工除应符合本标准第 10.6.1条~第 10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1当双层管焊接施工时，应先实施内管的焊接，并在焊接接头处应安装滑套；2 当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气保护，宜采用自动轨道氩弧焊机焊接；3 内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 双层管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜采用分段隔绝的方式施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得全部相通。在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。台州检验科特气管道安装连接图

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。台州检验科特气管道安装连接图特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择的过程中一定要注意安装标准规范操作。

特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。

尾气处理装置及纯化器的安装10.5.1尾气处理装置安装应符合现行国家标准《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231的有关规定。10.5.2尾气处理装置的基础应坚固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每个系统的管线及阀门都应贴上明显的正确标识，阀门应开关灵活，锁定装置应可靠。干式尾气处理装置及纯化器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。低蒸汽压特种气体管道施工除应符合本标准第10.6.1条～第10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1 管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路；2 当管道穿越温差较大区域时应分段加热。按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。

特种气体管道安装施工方案，特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 压力测试：在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。2. 吹扫和清洗：对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。3. 安全措施：在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。4. 质量控制：对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。扬州氩气特气管道安装服务商

项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训。台州检验科特气管道安装连接图

施工管理和现场施工的几个注意点，项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。台州检验科特气管道安装连接图