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供气系统的选择：简单供气系统，简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。湖州隐藏式特气管道安装服务商

特种气体管道安装：1 管外径大于1/2"的管道切割应采用不锈钢管洁净专门使用切割机，切割时不得使用润滑油：切口端面应垂直、无毛刺、不变形；满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；2管道切管作业时，应分别从两端管口将高纯氮气或氩气通入管内，并不得损伤管道外壁；3管口倒角作业时，不得损伤管道内壁，并不得采用什锦锉对管口进行倒角；4管道吹扫完毕，应使用不产尘的洁净布沾上异丙醇或无水乙醇将切割管口清洗干净，应迅速用洁净防尘帽或洁净胶带将管口封堵；5切割结束后，剩余管材应以洁净防尘帽封或洁净胶带堵后装入包装袋中；6管道预制焊接总长度不应超过12m，预制时应放置在专门使用支座上，支点数量不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点。湖州厂房特气管道安装流程管口的加工是本施工技术的关键点之一。

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。管道与配件及设备连接安装 对于输送易燃、剧毒特殊气体的双层管道，其与阀门、气表及设备连接采用金属垫片面密封接头（VCR）安装，金属垫片采用柔性镍合金垫片，确保密封严密。管道安装 双层管道焊接碰头然后接口处，采用增加末端滑套的安装方式在三层管道接头处实现管道密封，从而使外层套管形成一个整体。

尾气处理装置进场验收应符合下列规定：1 尾气处理装置进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对；2 尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专门使用工具应齐全；3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全；4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。特气管道工程施工注意事项：不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准。

硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。台州实验室特气管道安装施工规范

管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。湖州隐藏式特气管道安装服务商

特气管道工程安装几个安全要点：1、所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求并按照标准图集中的要求制作与安装。管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择。严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。2、特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。湖州隐藏式特气管道安装服务商