江苏大口径特气管道安装规范

硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。江苏大口径特气管道安装规范

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。管道与配件及设备连接安装 对于输送易燃、剧毒特殊气体的双层管道，其与阀门、气表及设备连接采用金属垫片面密封接头（VCR）安装，金属垫片采用柔性镍合金垫片，确保密封严密。管道安装 双层管道焊接碰头然后接口处，采用增加末端滑套的安装方式在三层管道接头处实现管道密封，从而使外层套管形成一个整体。江苏大口径特气管道安装规范对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。

这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。特气管道工程施工注意事项：避免出现管道经常出现问题，影响研究和工作进度。

管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。集中供气特气管道安装公司

焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。江苏大口径特气管道安装规范

特种气体管道焊接应符合下列规定：1 施工单位在工程开工前应对参加该工程的焊工进行认证，并应向建设单位提交管道焊接样品、焊接合格确认单，经建设单位项目技术负责人签字确认后方能进行焊接施工，施工单位应保留合格的焊接样品和记录；2 应使用自动轨道氩弧焊机焊接，所用氩气纯度不得小于99.999%,焊接用气体应加装可调节流量计显示气体流量，内保护气应装压力计监测管内压力；3焊接前应编制焊接工艺规程和绘制系统的单线图，单线图上应对焊接接头进行编号，编号应与焊接记录的焊接接头编号一致.江苏大口径特气管道安装规范