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MOS管探针台产品介绍

来源: 发布时间:2023年04月09日

探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。探针台采用高刚性显微镜龙门设计。MOS管探针台产品介绍

探针台由哪些部分组成?1.样品台(载物台)载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备,重复定位精度达±50纳米,可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位,完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针前列对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。3.卡盘有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针台如何工作?探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。 MOS管探针台产品介绍低温探针台中低电流测量的注意事项有哪些?

探针台应用手动探针台广泛应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件(如IC、晶圆、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。

M系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑,设计精密,价格实惠,在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到运用。配合对应的仪器仪表,可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内,配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。产品优势:探针台与显示器一体化设计,大大减小了设备的占地空间具备自适应减震系统,一定程度上可防止外界震动的干扰U型平台镀镍设计,不仅增大了针座的加载空间,还提高了针座平台和针座之间的吸附力 选购手动探针台的注意事项。

探针台操作步骤:1.将测试产品放入探针台的台盘上;2.打开显微镜光源灯(LED或光源机);3.打开背光面板光源开关;4.调整Zaxis高度对焦,使能清楚看到样品图象为OK;5.调整目镜和Zoom倍率,使影像清晰;二.点针操作步骤:1.通过移动镜头组部分找到Sample要下针的地方;2.调整针座位置,将三轴归零;3.调整针座仰角机构,使针尖位于显微镜射出光斑**上方1-2mm处;4.利用低倍镜头找到针尖,将针尖移至视野**位置并通过调整焦距使针尖达到*清晰;6.切换至高倍镜头,找到针尖;7.利用针座的X-Y-Z轴微调下针;8.量测完毕后,逆时针旋转钮针座的仰角机构的旋钮取出快速将针往上抬起,针尖即可移开针Sample;移动座平台或者显微镜相关移动机构时,请注意小心避免与镜头或被测品碰撞9.移开针座,取出背光面板光源和光源灯等电源.先进半导体探针测试系统。湖南双面点针探针台

经济实惠高性价比的手动探针台。MOS管探针台产品介绍

探针台的各种应用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片级可靠性,故障分析,设计验证,和大功率。满足先进半导体测试市场的要求,主要用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件测试的特殊要求。系统噪声,非常精确和高度可靠的DC / CV,RF和高功率测量。用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。带互锁功能的安全光幕可通过互锁系统关闭仪器,从而保护用户免受意外高压冲击。该系统具有后门,并由互锁保护,以提供简便的初始测量设置。MOS管探针台产品介绍

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