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上海探针台调试

来源: 发布时间:2023年04月09日

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养,平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命,对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面,然后用脱脂棉球蘸煤油清洗,整个过程操作要十分地细心,不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性,不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作,清理时应先通入大气以便动子移动,方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇,轻擦定子表面,然后用**工具撬起动子,方法同前,轻擦动子表面,动子的表面有若干个气孔,它是定子和动子间压缩空气的出孔,观察这此气孔的放气是否均匀,否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。 OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。上海探针台调试

探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精细扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台工作环境,探针台应放在坚固稳定的台面上,如地基有震动的情况,需要配置主动防震装置,避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃~40℃,比较好湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果    。使用电源:220V,50HzLCR测试探针台规格芯片的电参数测试用手动探针台。

探针台-高低温真空光电测试系统功能:用于测试半导体器件,材料,发光器件等综合性能表征系统,可测试参数包括:暗电流、光电流、光电压(光伏器件)、响应速度、光谱响应、变光强的R~P响应等。系统由光源、探针台和光电测试三部分组成,根据用户需求,三大部分可以进行定制化开发,以实现不同光谱覆盖范围、不同测试环境和不同测试功能的实现。探针台可选项: 低温/常温/高温、有背栅/无背栅、光纤导入/无光纤、有磁场/无磁场、真空/非真空 等。

探针台应用手动探针台广泛应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件(如IC、晶圆、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。全自动探针台相比普通探针台添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。

自动探针台是一款适合6寸、8寸、12寸晶圆的量产型全自动晶圆探针台,通过使探针卡与晶圆Pad点之间精细接触,实现完成晶圆WAT/CP测试,该设备操作简单并具有良好的机械稳定性,能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案,满足晶圆厂、封测厂、测试厂等不同客户的测试需求。经过不断的技术迭代更新,A系列全自动探针台已拥有同步国外的先进技术:低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别,减少了晶圆的加载时间;低重心设计,支持高针数探针卡,各钟规格国产射频探针。南昌大功率测试探针台

按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。上海探针台调试

探针台由哪些部分组成?1.样品台(载物台)载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备,重复定位精度达±50纳米,可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位,完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针前列对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。3.卡盘有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针台如何工作?探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。 上海探针台调试

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