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HOYA激光常见问题

来源: 发布时间:2023年04月04日

激光掩膜版是芯片制造过程中的图形“底片”,用于转移高精密电路设计,承载了图形设计和工艺技术等知识产权信息。掩模版用于芯片的批量生产,是下游生产流程衔接的关键部分,是芯片精度和质量的决定因素之一。

激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。制造商通常根据客户所需要的图形,用光刻机在原材料上光刻出相应的图形,将不需要的金属层和胶层洗去,即得到掩膜版。掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微细光掩膜图形的感光空白板。通过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的精细图案刻制于基板上制作成掩膜版。掩膜版的作用主要体现为利用已设计好的图案,通过透光与非透光方式进行图像(电路图形)复制,从而实现批量生产。 激光应用之激光传感器;HOYA激光常见问题

激光钻孔加工常见的4种方法1.开铜窗法:先将RCC(涂上树脂的铜箔层)复压于内层板上,用光化方法制作窗口,然后用蚀刻露出树脂,再用激光烧除窗口内基材材料形成微盲孔。2.开大窗法:将铜窗直径增大到0.05mm左右,比底垫还大(通常根据孔径大小确定),当孔径为0.15mm时,底垫直径应在0.25mm左右,其大窗口直径为0.30mm。然后进行激光照射,即可烧出微盲孔,这样位置准确,可用于制作精确的铜窗底垫。它的主要特点是选择自由度大,进行激光照射时可选择另按内层底垫的程序打孔。这种方法有效地避免了由于铜窗直径与孔径相同所引起的偏置,从而使激光点不能对准正窗口,从而导致大量的大尺寸拼板表面有很多半孔或残孔。PD激光器使用超快激光脉冲的微加工技术;

光刻掩膜版层数增加,自然是成本增加,同时也带动了光刻胶、光刻、刻蚀等附带工艺材料的成本增加。因为人们实现光刻工艺提升的条件是光刻掩膜版层数的增加,就像使用一层光掩膜版曝光转移图案不够清晰那样,多曝光几次图案就更加清晰。据悉,在40nm左右的时候,转移图案的过程中,需要使用到40层左右的掩膜版,到了14nm的时候,就会使用到60层的掩膜版,而到了7nm,至少需要80层的掩膜版,每层加一层,就会带来成本的提升,可想而知,80层的光掩膜版,成本让人难以接受,成本难以控制,就难以大规模量产芯片。

在芯片制造中,光刻是至关重要的一个环节,这是将设计好的芯片版图转移到晶圆上的过程,类似于胶片相机中的胶卷曝光后,利用底片进行洗制照片的过程。一个底片可以洗出来很多照片,一样的道理,通过芯片版图,就是要复制出来很多芯片,只是这个过程要比洗相片复杂繁琐太多。芯片版图,也称为光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是决定芯片造价成本的关键,一般来说,一个芯片生产线,所需要的大致设备、材料都是类似的,只是随着芯片制程工艺的不断提升,所需要的设备精密度越高,而材料纯度也是越高,这些都会导致生产成本的不断提升,不过,上升快的则是光刻掩膜版所带来的成本。激光微加工系统的主要功能;

常见、有代表性的激光应用之激光光谱:以激光为光源的光谱技术。与普通光源相比,激光光源具有单色性好、亮度高、方向性强和相干性强等特点,是用来研究光与物质的相互作用,从而辨认物质及其所在体系的结构、组成、状态及其变化的理想光源。激光的出现使原有的光谱技术在灵敏度和分辨率方面得到很大的改善。由于已能获得强度极高、脉冲宽度极窄的激光,对多光子过程、非线性光化学过程以及分子被激发后的弛豫过程的观察成为可能,并分别发展成为新的光谱技术。激光光谱学已成为与物理学、化学、生物学及材料科学等密切相关的研究领域。激光应用之激光成型;重庆激光镭射机

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激光钻孔加工常见的4种方法:

3.树脂表面的直接成孔技术:具体操作方式有以下4种:a.基板是用树脂铜箔在内层板上压涂,然后将铜箔全部蚀刻除去,便可用CO2激光直接在树脂表面打孔,再继续按镀覆工艺进行打孔。b.用FR-4半固化片材及铜箔代替涂树脂铜箔的工艺方法,与用铜箔制作相类似。C.涂覆感光树脂及后续层压铜箔的工艺方法。d.采用干膜作为介质层,与铜箔一起进行压贴工艺制备。

4.超薄铜箔直接烧蚀的工艺方法:在用树脂铜箔两面压覆内层芯板后,可以用“半腐蚀法”将铜箔厚度17m经腐蚀减薄至5微米,再经过黑氧化处理,即可获得CO2激光成孔。 HOYA激光常见问题

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