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HOYA激光系统

来源: 发布时间:2023年06月08日

半导体业的铜引线封装越来越成为发展主流,传统的化学开封已无法完全满足铜引线封装的开封要求。激光开封机的诞生给分析领域带来了新的技术。

激光开封机特点:

1、对铜引线封装有很好的开封效果

2、对复杂样品的开封极为方便

3、可重复性、一致性极高

、电脑控制开封形状、位置、大小、时间等,操作便利

5、对环境及人体污染伤害较小,安全性高

6、几乎没有耗材,使用成本很低

7、体积较小,容易摆放

激光开封机是怎么操作的?开封,开盖,开帽,指给完整封装的IC做局部腐蚀,使得IC可以暴露出来,同时保持芯片功能的完整无损,保持 die,bond pads,bond wires乃至lead-frame不受损伤,为下一步芯片失效分析实验做准备,方便观察或做其他测试(如FIB,EMMI), Decap后功能正常。 激光热处理,激光淬火。HOYA激光系统

激光工艺:

激光剖面芯片,替代传统费时费力的冷热制模固定,人工研磨方法。激光可剖面BGA焊球、玻纤PCB板、开封后裸露的晶圆(配合PICOEYE显微视觉,切缝宽度可控制低至5微米)。

激光开盖,主要针对陶瓷、可伐、铝合金等金属封装。超快激光在时间维度聚焦,配合辅助工艺能确保无污染无残留开盖。

Eco-Blue激光光化学法无损开封,利用激光聚焦活化ECO-BLUE溶解液,破坏塑封交联结构并溶解,无损晶圆层,应用于晶圆级失效机理分析,替代危险的强酸腐蚀工艺。

激光逐层剥离微加工,利用高稳定及均匀分布的激光能量,逐层去除PI隔离层、RDL金属路线重布层,多层晶圆。主要IC类型有陀螺仪、传感器、硅通孔IC等。 mini led激光大概价格多少激光加工广泛应用于微电子、微机械和微光学加工三大领域。

激光打标机常见的五种故障分析:

3.激光打标机的标识薄膜粘版产生原因:热压温度高于降解温度,涂料黏性加大就会造成粘版而使薄膜缠绕在全息压印辊上。解决方法:降低热压温度。

4.激光打标机的标识图案暗淡无光解决方法:检查加热温度是否太低,模压压力是否下降。工艺控制要点:模压压力的设定应综合考虑模压温度、全息材料的种类或涂料层软化点模压版的情况等。压力过高,模压版易损坏或将全息材料压坏;压力过低,模压图像不清楚、不完整;对于圆压圆方式,两边压力辊的初始压力一般在0.08MPa左右;模压开始后慢慢将压力辊的压力均匀加大至030~0.50MPa。模压速度可根据压印质量机器性能等综合调节。

5.激光打标机的标识图案一块清楚一块模糊产生原因:热压装置的温度分布不均匀或者模压版不平整。

常见、有代表性的激光应用之激光打标/雕刻:在各种材料和几乎所有行业均得到广泛应用,包括:接骨螺钉、起搏器、植入装置、医疗工具和仪器、手术器械、手术刀片、导引线、标志带、一次性用品、内窥镜器具、牙科工具、条形码、二维码、长久标记。

常见、有代表性的激光应用之激光打孔:微流体传感器、电泳膜片钳、薄膜传感器和传感器一次性用品;航空航天、汽车制造、电子仪表、化工等行业。人造金刚石和天然金刚石拉丝模的生产及钟表和仪表的宝石轴承、飞机叶片、多层印刷线路板等行业的生产中应用较多。 激光应用之激光成像;

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


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