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Ezlaze激光修复

来源: 发布时间:2023年06月04日

激光开封机是用来将元器件开封,即使用激光开封机去除元器件塑封料,近两年年铜线产品变多,客户对开封要求越来越高,导致激光开封机需求应运而生其安全方便,可靠性高等特点深受客户喜欢。

那么激光开封机使用范围有哪些呢?

1. 满足除金属陶瓷封装外,各种封装形式的IC器件。

2. 设备由控制系统、光学系统、升降工作台及冷却系统等组成

3. 开封为自动开封,工程人员设定好开封范围及光扫次数,系统自动执行开封动作。

4. 开封完毕器件上会留有少许胶体,需要用少量酸漂洗。

5. 可开封范围100mm*100mm。

6. 工控主机,液晶显示幕17″以上;

7. 单次开封是深度≤0.4mm;重复精度±0.003mm微能量精细镭射控制器。


掩模版用于芯片的批量生产;Ezlaze激光修复

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


芯片图形激光配件微纳加工-激光掩模版的作用;

激光开封机是用于激光开封的机器,IC的快速开盖设备,开封时间约1分钟左右,可移除任何塑封器件的封装材料,PCB板的开封及截面切割,功率器件和IC托盘上多个开封的预开槽。特别是铜引线封装有很好的开封效果.不像酸性法开盖容易受有些金属如铜容易和酸发生化学反应.

那么什么是激光开封机?激光开封机是采用红外光波段,10.64μm的气体激光器,将CO2气体充入高压放电管中产生辉光放电,使气体分子释放出激光,将激光能量放大后就形成对材料加工的激光束,激光束使被加工体表面气化达到去除器件填充料的目的。

在芯片制造中,光刻是至关重要的一个环节,这是将设计好的芯片版图转移到晶圆上的过程,类似于胶片相机中的胶卷曝光后,利用底片进行洗制照片的过程。一个底片可以洗出来很多照片,一样的道理,通过芯片版图,就是要复制出来很多芯片,只是这个过程要比洗相片复杂繁琐太多。芯片版图,也称为光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是决定芯片造价成本的关键,一般来说,一个芯片生产线,所需要的大致设备、材料都是类似的,只是随着芯片制程工艺的不断提升,所需要的设备精密度越高,而材料纯度也是越高,这些都会导致生产成本的不断提升,不过,上升快的则是光刻掩膜版所带来的成本。激光应用之激光清洗;

日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界认同等级修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列无论在设计,制造上HOYA采用比较先进的光学技术HOYA光学技术的结晶彻底追求加工稳定度的较好品质小型YAG激光系统HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光学技术活用于设计、制造上,创造出比较好可多段多变功率输出且高稳定性的激光装置。能同时实现微细加工与高输出能量的大面积加工之激光系统从比较小0.5μm到比较大300μm,对半导体及FPD金属薄膜的微细加工到ColorFilter的大面积加工都可以对应。另外,比较大频率可到50Hz,也可用在各种应用层面上。保养及维修的特性灯泡容易替换在40nm左右的时候,转移图案的过程中,需要使用到40层左右的掩膜版。New Wave激光打孔

激光微加工系统用于力学、工程与技术科学基础学科领域。Ezlaze激光修复

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