探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。经济实惠高性价比的手动探针台。MOS管探针台系统
手动探针台的使用方式：1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，***则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。SiC探针台规格尺寸晶圆级测试自动探针台。
探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。
探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业重要的检测配备之一，其广泛应用于杂乱、高速器材的ing密电气测量，旨在保证质量及可靠性，并缩减研发时刻和器材制作工艺的本钱。探计台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测验环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针触模并逐人测验。在半导体器材与集成电路制作工艺中，从单晶硅棒的制取到ZU终器材制作的完结需经过杂乱的工序，可分为前道工序与后道工序，探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。探针台搭配网络分析仪进行测试。
桌面探针系统
众所周知探针台用于半导体测试，特别是6英寸或者12英寸的晶圆探针台。因为受尺寸限制，导致大尺寸等规格不符的待测物无法进行测试，从而使得众多产品无法得到验证。
对于除了半导体、晶圆、芯片需要测试以外，如同大尺寸电路板、高频高速电路、射频微波器件、高速连接器等所需测试的产品也是需要进行阻抗、S参数的测试。特别是现在高频高速已经进入了56G、112G，单波NRZ通道已经到了56GHz的电信号的时代。所以高频、高速等系列电路板各个通道以及载体都需要进行产品的性能测试。
因此研发推出了桌面探针系统及各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。 2022年探针台市场规模达到16亿美元。MOS管探针台系统
芯片的电参数测试用手动探针台。MOS管探针台系统
自动探针台是一款适合6寸、8寸、12寸晶圆的量产型全自动晶圆探针台，通过使探针卡与晶圆Pad点之间精细接触，实现完成晶圆WAT/CP测试，该设备操作简单并具有良好的机械稳定性，能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案，满足晶圆厂、封测厂、测试厂等不同客户的测试需求。经过不断的技术迭代更新，A系列全自动探针台已拥有同步国外的先进技术：低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别，减少了晶圆的加载时间；低重心设计，支持高针数探针卡，MOS管探针台系统
波铭科仪，2013-06-03正式启动，成立了拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等几大市场布局，应对行业变化，顺应市场趋势发展，在创新中寻求突破，进而提升爱特蒙特的市场竞争力，把握市场机遇，推动仪器仪表产业的进步。是具有一定实力的仪器仪表企业之一，主要提供拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等领域内的产品或服务。同时，企业针对用户，在拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等几大领域，提供更多、更丰富的仪器仪表产品，进一步为全国更多单位和企业提供更具针对性的仪器仪表服务。波铭科仪始终保持在仪器仪表领域优先的前提下，不断优化业务结构。在拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等领域承揽了一大批高精尖项目，积极为更多仪器仪表企业提供服务。