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芯片图形激光微加工

来源: 发布时间:2023年04月23日

激光技术是20世纪与原子能、半导体及计算机齐名的四项重大发明之一.四十多年来,随着小型电子产品和微电子元器件需求量的日益增长,对于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔点材料)的精密处理日渐成为激光在工业应用中发展快速的领域之一.

激光加工是激光产业的重要应用,与常规的机械加工相比,激光加工更精密、更准确、更迅速.该技术利用激光束与物质相互作用的特性对包括金属与非金属的各种材料进行加工,涉及到了焊接、切割、打标、打孔,热处理、成型等多种加工工艺。激光的特性使之成为微处理的理想工具,广泛应用于微电子、微机械和微光学加工三大领域。

激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料(包括金属与非金属)进行切割、焊接、表面处理、打孔及微加工等的一门加工技术. 激光打标机的故障分析;芯片图形激光微加工

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


柔性Oled激光性价比超快激光微加工是超快激光应用;

激光机常见故障以及解决方法:

激光机是激光雕刻机、激光切割机和激光打标机的总称。激光机利用其高温的工作原理作用于被加工材料表面,同时根据输入到机器内部的图形,绘制出客户要求的图案、文字等。其中激光雕刻机又可以细分为,非金属激光雕刻机,如木制工艺品雕刻机、石材影雕刻机等。金属激光雕刻机,如,二氧化碳激光雕刻机。

一、激光头不发光1、按操作面板测试键观查电流表状态:①没电流:检查激光电源电源是否接通、高压线是否松动或脱落,信号线是否松动;②有电流:检查镜片是否破碎、光路是否严重偏移;2、检查水循环系统是否正常:①不通水:检查水泵是否损坏或没通电;②通水:检查进水口、出水口是否接反或水管破裂;

常见、有代表性的激光应用之激光切割:医用工具和仪器、医用管路、支架、手术刀片、导引线、海波管、电动剃须刀、导管、牙科工具、内窥镜器具、医用探头、薄膜传感器和传感器一次性用品、汽车、计算机、电气机壳、木刀模业、各种金属零件和特殊材料的切割、圆形锯片、压克力、弹簧垫片、电子机件用铜板、金属网板、钢管、镀锡铁板、镀亚铅钢板、磷青铜、电木板、薄铝合金、石英玻璃、硅橡胶、氧化铝陶瓷片、航天工业使用的钛合金等。超快激光器高频脉冲;

超快激光可用于微加工多种材料:金属、聚合物、半导体、透明材料等。需选择合适的激光参数进行修改。

激光微加工系统用于力学、工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器。

激光微加工系统的技术指标:测量范围径向3.0m,球测试精度±0.046mm、锥测试精度±0.052mm,激光扫描距离89~184mm、扫描精度0.05mm。

激光微加工系统的主要功能:该设备不仅具有精度测量、形位误差分析功能,而且具有激光扫描,生成被扫描件的三维点云造型功能。


不同掩模版的不透光材料有所不同。Mask激光修正

微纳加工-激光掩模版的作用;芯片图形激光微加工

在芯片制造中,光刻是至关重要的一个环节,这是将设计好的芯片版图转移到晶圆上的过程,类似于胶片相机中的胶卷曝光后,利用底片进行洗制照片的过程。一个底片可以洗出来很多照片,一样的道理,通过芯片版图,就是要复制出来很多芯片,只是这个过程要比洗相片复杂繁琐太多。芯片版图,也称为光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是决定芯片造价成本的关键,一般来说,一个芯片生产线,所需要的大致设备、材料都是类似的,只是随着芯片制程工艺的不断提升,所需要的设备精密度越高,而材料纯度也是越高,这些都会导致生产成本的不断提升,不过,上升快的则是光刻掩膜版所带来的成本。芯片图形激光微加工

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