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武汉激光

来源: 发布时间:2023年04月16日

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


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半导体激光器失效机理与案例分析:

半导体激光器失效模式主要表现为工作期间无输出光强,或在恒定驱动电流下输出光功率退化失效,当输出功率退化至特定阈值,就会导致激光器失效。可靠性研究分析中心是国内专业从事电子元器件和各种电子产品失效分析技术研究和技术服务的机构。在对半导体激光器开展的失效分析工作中,经总结,半导体激光器的主要失效机理包括电极退化、欧姆接触、腔面退化、环境污染等因素。

失效机理介绍及相关案例如下文所示。

1)电极退化电极退化通常发生在金属与半导体材料的交界面,由于焊料材料扩散进半导体内部形成缺陷结构,大电流作用下导致缺陷位置热量积累,**终烧毁附近的金属化层[2]。 江苏激光市场价不同掩模版的不透光材料有所不同。

激光工艺:

激光剖面芯片,替代传统费时费力的冷热制模固定,人工研磨方法。激光可剖面BGA焊球、玻纤PCB板、开封后裸露的晶圆(配合PICOEYE显微视觉,切缝宽度可控制低至5微米)。

激光开盖,主要针对陶瓷、可伐、铝合金等金属封装。超快激光在时间维度聚焦,配合辅助工艺能确保无污染无残留开盖。

Eco-Blue激光光化学法无损开封,利用激光聚焦活化ECO-BLUE溶解液,破坏塑封交联结构并溶解,无损晶圆层,应用于晶圆级失效机理分析,替代危险的强酸腐蚀工艺。

激光逐层剥离微加工,利用高稳定及均匀分布的激光能量,逐层去除PI隔离层、RDL金属路线重布层,多层晶圆。主要IC类型有陀螺仪、传感器、硅通孔IC等。

半导体业的铜引线封装越来越成为发展主流,传统的化学开封已无法完全满足铜引线封装的开封要求。激光开封机的诞生给分析领域带来了新的技术。

激光开封机特点:

1、对铜引线封装有很好的开封效果

2、对复杂样品的开封极为方便

3、可重复性、一致性极高

、电脑控制开封形状、位置、大小、时间等,操作便利

5、对环境及人体污染伤害较小,安全性高

6、几乎没有耗材,使用成本很低

7、体积较小,容易摆放

激光开封机是怎么操作的?开封,开盖,开帽,指给完整封装的IC做局部腐蚀,使得IC可以暴露出来,同时保持芯片功能的完整无损,保持 die,bond pads,bond wires乃至lead-frame不受损伤,为下一步芯片失效分析实验做准备,方便观察或做其他测试(如FIB,EMMI), Decap后功能正常。 激光应用之激光清洗;

超快激光可用于微加工多种材料:金属、聚合物、半导体、透明材料等。需选择合适的激光参数进行修改。

激光微加工系统用于力学、工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器。

激光微加工系统的技术指标:测量范围径向3.0m,球测试精度±0.046mm、锥测试精度±0.052mm,激光扫描距离89~184mm、扫描精度0.05mm。

激光微加工系统的主要功能:该设备不仅具有精度测量、形位误差分析功能,而且具有激光扫描,生成被扫描件的三维点云造型功能。


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日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界认同等级修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列无论在设计,制造上HOYA采用比较先进的光学技术HOYA光学技术的结晶彻底追求加工稳定度的较好品质小型YAG激光系统HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光学技术活用于设计、制造上,创造出比较好可多段多变功率输出且高稳定性的激光装置。能同时实现微细加工与高输出能量的大面积加工之激光系统从比较小0.5μm到比较大300μm,对半导体及FPD金属薄膜的微细加工到ColorFilter的大面积加工都可以对应。另外,比较大频率可到50Hz,也可用在各种应用层面上。保养及维修的特性灯泡容易替换武汉激光

上海波铭科学仪器有限公司在拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器一直在同行业中处于较强地位,无论是产品还是服务,其高水平的能力始终贯穿于其中。公司位于望园南路1288弄80号1904、1909室,成立于2013-06-03,迄今已经成长为仪器仪表行业内同类型企业的佼佼者。波铭科仪以拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器为主业,服务于仪器仪表等领域,为全国客户提供先进拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器。产品已销往多个国家和地区,被国内外众多企业和客户所认可。