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洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 [1]  ：（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。奉贤区质量园区净化工程厂家电话

静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所有选些都可能产生静电，在一般情况下，越是电导率小的非导体（绝缘体），由于电荷产生后不易流动，因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都极易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被采用的。浦东新区质量园区净化工程电话这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流；非均匀流。

但是，和对待任何事物不能化一样，对待空气洁净技术的作用也不能化，不能把提高产品质量的作用完全归之于它。据国外材料分析，例如对于半导体元件部门，空气洁净技术在提高产品质量方面的作用大约在整个生产中占的比重为20%，而生产工艺自动化作用的比重占60%，其他因素占20%。当然，在已经解决了生产工艺的问题以后，空气净化就是主要矛盾，例如超大规模集成电路，没有洁净的环境，则几乎是生产不出来的。对于需要空气净化的行业和部门有：电子、精密机械、宇宙航空、化学工业，印刷工业，原子能工业、食品工业、医药工业、医院、动物实验、注塑工业等。

空气净化工程是在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。空气净化工程按原理分为乱流洁净室和层流洁净室；按应用分为工业净化工程，生物净化工程；空气净化程是一整套系统，洁净厂房设计和验收规范里就有说明。大致包括洁净室建筑装饰系统，净化空调系统，水系统、电系统、气系统等，对洁净室内的温度、湿度、照度、洁净度、静电现象进行管控，从而达到特定的工艺要求。对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。

这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、。紊流主要决定于雷诺数，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个高效过滤器顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混，而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。单向流洁净室一般有两种类型，即水平流和垂直流。在水平流系统中，气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中，气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。在一间没有任何障碍物的空房间，单向流用比前面提到的低得多的风速，就可以很快将污染物清。金山区如何园区净化工程厂家电话

单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。奉贤区质量园区净化工程厂家电话

洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。奉贤区质量园区净化工程厂家电话

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