图30揭示了根据本发明的又一实施例的密封件的******图。图31揭示了图30所示的密封件的剖视图。图32揭示了图31的局部放大图。图33a至图33h揭示了本发明的各种形状的盖板。具体实施方式本发明提出了一种在基板处理过程中固持基板的基板保持装置，例如，将基板浸没在电解液中电镀。当基板浸没在电解液中以在基板的正面电镀金属层时，基板正面的边缘和基板背面需要被保护，避免接触到电解液。因此，与现有技术的区别在于，当基板浸没在电解液中电镀时，本发明的基板保持装置利用密封件来阻止电解液接触基板正面的边缘和基板背面，且该密封件是可替换的。参考图1至图6所示，为本发明的基板保持装置100。该基板保持装置100包括杯形夹盘101和夹盘板102。杯形夹盘101包括杯形的基部1011，基部1011围成穿透的接收空间1012。基部1011具有底壁、侧壁的外表面和侧壁的内表面。基部1011的侧壁的内表面是倾斜的，有利于装载基板113。基部1011的上端向外延伸形成边沿1013。基部1011的侧壁的内表面倾斜的向上突出形成支撑部1014，该支撑部1014位于基部1011的下端。当基板113被放入接收空间1012内时，支撑部1014承载基板113。基部1011的下端开设有凹槽1015。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务OPBT系列。青海加固强力超薄型夹盘
本发明涉及等离子刻蚀领域，特别涉及一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法。背景技术：现有技术中，在等离子体刻蚀或化学气相沉积等工艺过程中，常采用静电夹盘(electrostaticchuck，简称esc)来固定、支撑及传送基片(wafer)等待加工件。静电夹盘设置于反应腔室中，通过对静电夹盘来加热基片，促成基片与反应腔室中的等离子体进行反应，从而实现对基片的加工制造。静电夹盘的加热区域不止一个，需要通过设置多区加热器对静电夹盘的多个加热区域分别进行加热。由于对多区加热器进行控制的元器件(例如scr电力调整器和ssr固态继电器等)尺寸较大，在有限的空间内无法直接放置在多区加热器的下方，即射频滤波组件和加热器控制单元只能在偏远位置，此时其与多区加热器并非处于同电位状态，所以需要给每个加热器添加rf滤波器(射频滤波器)，保证正常工作，如图1所示。由于射频滤波组件和加热器控制单元在偏远位置，各个加热器和加热器控制单元之间均连接有射频滤波器，使得射频功率会在此长距离路径中损耗，这可能导致刻蚀速率降低以及存在其他潜在的射频泄漏风险。基于上述原因，需要研发一种结构简单、节省空间、简化滤波结构的基于多区加热器的加热系统实为必要。江苏气压油缸强力超薄型夹盘上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务A系列。
千岛三爪液压卡盘产地：中国台湾品牌：千岛型号：OP/CL-06/08/10/12发布时间：2013-09-14浏览：357产品介绍上海昱彦精密机械有限公司为你提供千岛三爪液压卡盘。卡盘/千岛卡盘,三爪夹头，动力卡盘：液压卡盘、手动卡盘、分度盘卡盘、超薄夹盘、立式内藏油（气）压卡盘、精密微调钢壳卡盘、两轴自动求心、四方型夹盘、油（气）压回转缸、卡盘卡爪。千岛Chandox卡盘---有OPT、OP、OPF、P、CLT、CL、PL、L、MPL、MOT、MO、TK、RT、SC、PS、AS、AE、SK、PSK、NBK、NT、TNT等系列卡盘。三爪中空液压卡盘：OP-205，OP-206，OP-208，OP-210，OP-212，OP-215，OP-221二爪中空液压卡盘：OPT-206，OPT-208，OPT-210，OPT-212四爪中空液压卡盘：OPF-206，OPF-208，OPF-210，OPF-212三爪中实液压卡盘：CL-05，CL-06，CL-08，CL-10，CL-12，CL-15，CL-21/DP三爪大孔径卡盘：OPB-206，OPB-208，OPB-210中空/中实油缸：P1246，P1552，P1875，P2091，L1020，L1225，L1530强力夹盘/超薄夹盘：NBK-06，NBK-08，NBK-10，NBK-12，SE-02，SE-03，SE-04，SE-05手动卡盘：SC-03，SC-04，SC-05，SC-06，SC-07，SC-08，SC-10，SC-12，SC-16铣/钻床卡盘：MO-06，MO-08，MO-10，MA-06。
在某些实施方式中，涂层602设置于主体601的顶部表面603上。取决于所期望的实例，涂层602为聚合材料，例如聚亚酰胺材料、聚酰胺材料、或聚四氟乙烯(ptfe)材料的一种或多种。多个空腔626形成于主体601中。空腔626设置于主体601之中，且从顶部表面603延伸至主体601中。空腔626由底部表面628和侧壁630限定。空腔626的深度介于约μm与约1000μm之间，例如介于约300μm与约700μm之间。应考虑空腔626的深度足以容纳形成于基板100上的微结构106，使得当基板100定位在夹持装置600上时，微结构106保持不与主体601接触。涂层602沿着主体601的顶部表面603延伸，且在空腔626的侧壁630和底部表面628上。类似地，涂层602在限定空腔626的侧壁630的支撑构件608上延伸。涂层602的厚度考虑为足够厚而能够将基板100静电夹持至主体601。如此，涂层602相信能经由电极组件612、614而影响施加至基板100的静电力。***电极组件612设置于主体601之中，邻接主体601的顶部表面603。***电极组件612包括耦接至***功率源620的一个或多个导线。在一个实施方式中，***电极组件612为单一导线。或者，***电极组件612包括多个导线。在此实施方式中，***电极组件612的导线可以交错布置的方式设置。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务OPBTF系列。
千岛三爪液压卡盘产地：中国台湾品牌：千岛型号：产品介绍上海昱彦精密机械有限公司为你提供千岛三爪液压卡盘。卡盘/千岛卡盘,三爪夹头，动力卡盘：液压卡盘、手动卡盘、分度盘卡盘、超薄夹盘、立式内藏油（气）压卡盘、精密微调钢壳卡盘、两轴自动求心、四方型夹盘、油（气）压回转缸、卡盘卡爪。千岛Chandox卡盘---有OPT、OP、OPF、P、CLT、CL、PL、L、MPL、MOT、MO、TK、RT、SC、PS、AS、AE、SK、PSK、NBK、NT、TNT等系列卡盘。三爪中空液压卡盘：OP-205，OP-206，OP-208，OP-210，OP-212，OP-215，OP-221二爪中空液压卡盘：OPT-206，OPT-208，OPT-210，OPT-212四爪中空液压卡盘：OPF-206，OPF-208，OPF-210，OPF-212三爪中实液压卡盘：CL-05，CL-06，CL-08，CL-10，CL-12，CL-15，CL-21/DP三爪大孔径卡盘：OPB-206，OPB-208，OPB-210中空/中实油缸：P1246，P1552，P1875，P2091，L1020，L1225，L1530强力夹盘/超薄夹盘：NBK-06，NBK-08，NBK-10，NBK-12，SE-02，SE-03，SE-04，SE-05手动卡盘：SC-03，SC-04，SC-05，SC-06，SC-07，SC-08，SC-10，SC-12，SC-16铣/钻床卡盘：MO-06，MO-08，MO-10，MA-06。千岛圆型超薄手动卡盘适合任何加工中心使用。小型强力超薄型夹盘方案
上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务PY系列。青海加固强力超薄型夹盘
然后通过多个螺丝110将固定环109固定在杯形夹盘101边沿1013的底部。密封件111的厚度为，较佳为。在湿法工艺过程中，密封件111的唇形密封部1115密封基板113正面的边缘，使化学液体无法接触到基板113正面的边缘和基板113的背面。因此，湿法工艺完成后，基板113正面的边缘和基板113的背面是干的。除此以外，由于密封件111包裹杯形夹盘101，密封件111保护杯形夹盘101并防止杯形夹盘101接触到化学液体，避免杯形夹盘101被化学液体腐蚀。有了密封件111的保护，该基板保持装置100承载的基板113可以浸没到化学液体中加工，如电镀。为了避免化学液体腐蚀固定环109和螺丝110，化学液体的液面低于固定环109。密封件111为一体成型，制成密封件111的材料可以是橡胶，如氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶。制成密封件111的材料还可以是塑料，如聚四氟乙烯。用来制造密封件111的材料是柔软的并具有一定硬度，材料的硬度为硬度计检测出的20-70，较佳为40-60。制成密封件111的材料具有疏水性，并且材料表面粗糙度ra<8μm。如图18所示，当液滴301和基板313之间的接触角ф大于90°，则基板313具有疏水性，接触角ф与材料表面粗糙度有关。当材料表面粗糙度增加，则接触角ф变小。青海加固强力超薄型夹盘
上海昱彦精密机械有限公司位于松东路322号，交通便利，环境优美，是一家贸易型企业。公司是一家有限责任公司（自然）企业，以诚信务实的创业精神、专业的管理团队、踏实的职工队伍，努力为广大用户提供***的产品。公司始终坚持客户需求优先的原则，致力于提供高质量的中国台湾千岛卡盘油缸卡爪，日本日研转台刀柄，中国台湾昱伟工装夹治具，中国台湾潭兴数控分度盘。昱彦精密自成立以来，一直坚持走正规化、专业化路线，得到了广大客户及社会各界的普遍认可与大力支持。