吉林防护光谱共焦位移传感器

将光纤和光纤连接至白色LED。具体地,光纤和被布置成使得它们的端部在白色LED 的发光区域中彼此充分地接近。因此,可以从单个白色LED 向光纤和射出白色光W。应当注意,可以适当地设计发光区域的面积和光纤的芯直径等,并且还可以配置用于将白色光W向两个光纤射出的光学系统等。光纤分束器将从光纤导入的白色光W导出至与No.1光学头相连接的光纤。此外,光纤分束器34a将从光纤导入的测量光进行分支,并且将其导出至与分光器相连接的光纤。因此,使从No.1光学头射出的测量光从光纤射出到分光器的内部。该传感器可用于微纳制造、生物医学、半导体制造等领域中的精密测量。吉林防护光谱共焦位移传感器

线传感器可以是在使用预定基准轴作为基准的情况下布置的。在这种情况下,光学系统可以是在使用预定基准轴作为基准的情况下配置的,并且光学系统可以包括多个测量光束入射的多个光入射口,其中 多个光入射口在使用 预定基准轴作为基准的情况下设置在不同位置处。通过以这种方式在使用预定基准轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以向线传感器的不同受光区域射出相应的测量光。特别地,通过使用该基准轴作为基准来在不同位置处设置多个光入射口,可以容易将各测量光射出至多个受光区域。 预定基准轴可以与在使 测量光从 分光器的虚拟光入射口入射至 光学系统的情况下的光轴相对应。通过在使用测量光从虚拟光入射口入射的情况下的光轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以将从多个光入射口入射的测量光分别射出至线传感器的多个受光区域。哈尔滨光谱共焦位移传感器零售价格它可以实现对材料的微观结构进行高精度测量，对于研究材料的微观性质具有重要意义。

在能够以这种方式执行多点测量的光谱共焦传感器中,需要能够减少必要组件的数量的技术。有鉴于如上所述的情形,本发明旨在提供能够利用少量的组件来执行多点测量的光谱共焦传感器以及使用该光谱共焦传感器的测量方法。为了实现上述目的,根据本发明实施例的光谱共焦传感器包括光源部、多个光学头、分光器和位置计算部。光源部射出具有不同波长的多个光束。多个光学头将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处，并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光。

激光位移传感器的工作原理是利用激光发射光束投射到被测物体表面，接收反射光并将光信号转换为电信号输出，从而获取被测物体空间位置信息。根据激光源发射光束的不同，激光传感器可分为点、线两种。点激光位移传感器在一个采样周期内只能获得被测量的一维信息，使用时通常依托于三坐标测量机或三坐标机床等设备，通过设备机械运动及传感器同步扫描来获取被测物体三维信息。因此，激光位移传感器在精密测量领域有着广泛的应用。。。光谱共焦位移传感器是一种高精度的非接触式位移传感器。

在接收光纤的出光端可装配连接有光谱仪，当光谱仪与接收光纤的出光端装配好后，光谱仪与接收光纤的出光端实现固定连接，光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。这样，通过光源耦合器产生多色光，多色光在入射光纤中传导到光谱共焦位移传感探头内；通过光谱共焦位移传感探头内的透镜组和光学元件使多色光发生光谱色散，不同波长的单色光聚焦到不同的轴向高度，使波长与被测物体的位移产生对应关系；该传感器适用于高分辨率成像系统，如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。吉林防护光谱共焦位移传感器

该传感器适用于高分辨率成像系统，例如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。吉林防护光谱共焦位移传感器

本实用新型解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种光谱共焦位移传感器，旨在通过光谱共焦工作原理，避免通过激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑，克服不易确定像点的质心位置的缺陷。本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下： 一种光谱共焦位移传感器，包括底座，其中，还包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于产生多色光； 入射光纤，所述入射光纤的入光端固定连接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所发出的多色光；吉林防护光谱共焦位移传感器