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江苏倒装共晶机厂家

来源: 发布时间:2024年02月04日

    -第二限位盘;-晶圆。具体实施方式下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。如图和图所示,本实施例提供一种晶圆加工固定装置,用于在晶圆的清洗步骤中,固定晶圆。该晶圆加工固定装置包括安装座、固定架和片盒架。固定架可转动的安装在安装座上,片盒架可转动的安装在固定架上。固定架能够带动片盒架一起转动,且片盒架能够同步相对固定架自转,固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置。可以理解的是,固定架的旋转轴线也即是固定架围绕转动的旋转轴所在的直线,片盒架的旋转轴线也即是片盒架自转的旋转轴所在的直线。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电全自动高精度共晶贴片机正式量产。江苏倒装共晶机厂家

    在外力驱动下实现固定架驱动片盒架的转动。片盒架安装在从动轮盘与行星架的行星轮之间,通过行星架的行星轮与太阳轮以及齿圈的连接,构成片盒架的自转部分。限位轮座安装在底板上、轴承安装在限位轮座上,对驱动轮盘进行限位支撑;横向安装轴安装在竖向杆上,与齿圈固定板的安装凸轴构成与槽体连接的部分。片盒架设置有转动杆,转动杆可在限位盘和第二限位盘之间活动,方便晶圆放置和拆卸。本实施例晶圆加工固定装置通过驱动轮盘带动整体多个片盒架转动,可以使浸泡在药液中的晶圆充分清洗,提高终的清洗效果;且可通过行星轮与齿圈的连接,实现片盒架的自转,使晶圆加工更加均匀;同时,支持多种片盒架,通过更换片盒架形式,可以多个相同晶圆同时清洗,也可实现不同尺寸的晶圆同时清洗。可见,本实施例晶圆加工固定装置在固定架旋转的同时,片盒架还可带动晶圆进行自转,避免槽式清洗中单一的抖动形式,结构紧凑简单,能够提高晶圆加工均匀性和终效果。本实施例还提供一种晶圆加工设备,包括本实施例提供的晶圆加工固定装置。自然。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。江苏倒装共晶机厂家泰克光电手动共晶机找科研手动型设备。

    以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。所述转动杆的两端与所述限位盘和第二限位盘可拆卸连接,和/或所述转动杆的两端与所述限位盘和第二限位盘滑动连接,且所述转动杆的两端能够相对所述限位盘和第二限位盘固定。进一步地,所述限位盘和所述第二限位盘分别沿其周向设置有导向槽,所述转动杆滑动连接在所述导向槽内。进一步地,多根所述限位杆面向所述晶圆的放置空间的侧面上均设置有卡设固定晶圆的定位槽,所述定位槽的数量为多个,多个所述定位槽沿所述限位杆的长度方向依次间隔布置。进一步地,所述晶圆加工固定装置还包括传动机构,所述传动机构与所述驱动轮盘和所述限位盘连接,所述传动机构用于同步驱动所述固定架转动和所述片盒架自转。进一步地,所述传动机构包括行星架,所述行星架的太阳轮与所述驱动轮盘连接。

    随同步带移动而左右移动。托臂通过连接块与同步带固定连接,连接块的底部固定连接在同步带上,连接块的顶部与托臂的底部固定连接。托臂位于固定板的顶侧,以便托住晶圆。连接块伸出于固定板的前侧或后侧,托臂通过连接块与设于固定板底侧的同步带固定连接。连接块有利于托臂与同步带连接稳固。具体地,托臂的数量为两个,各托臂分别固定连接在同步带的不同输送侧上,移动电机驱动主动轮转动,带动从动轮和同步带转动,使得各托臂在固定板上做张合运动。一个托臂通过一个连接块粘附在同步带的前侧,另一托臂通过另一连接块连接在同步带的后侧。当同步带转动时,连接在不同输送侧的连接块带动托臂往不同方向移动,实现两个托臂在固定板上做张合运动。工作人员可根据不同规格的晶圆,通过控制系统控制移动电机驱动主动轮转动,带动同步带和从动轮转动。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。深圳全自动共晶机全自动共晶机找泰克光电。

    所述驱动轮盘设置在所述齿圈固定板背离所述竖向杆的一侧,所述从动轮盘与所述竖向杆面向所述齿圈固定板的一侧转动连接;所述底板上对应所述驱动轮盘的周向边缘设置有轴承,所述驱动轮盘的周向边缘转动设置在所述轴承上。进一步地,所述底板还设置有相对设置的两个限位轮座,所述轴承和驱动轮盘设置在两个限位轮座之间。进一步地,所述齿圈固定板连接有安装凸轴;所述竖向杆上设置横向安装轴。进一步地,所述齿圈固定板与所述竖向杆的顶端之间连接有拉杆。本发明提供的晶圆加工设备,包括如上述任一项所述的晶圆加工固定装置。本发明提供的晶圆加工固定装置,包括安装座、固定架和片盒架,固定架可转动的安装在安装座上,片盒架可转动的安装在固定架上;固定架能够带动片盒架一起转动,且片盒架能够相对固定架自转,固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置。本发明提供的晶圆加工固定装置,在使用过程中,先将晶圆放置到片盒架上,然后将片盒架安装到固定架上,固定架通过安装座安装在清洗槽上。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者。高精度TO共晶机价格怎么样?找泰克光电。常州FDB210共晶机设备

泰克光电共晶机的具体使用方法。江苏倒装共晶机厂家

    梯状敷层性佳(不管多凹凸不平,深孔中的表面亦产生反应,及气体可到达表面而附着薄膜)等,故用途极广。膜生成原理,例如由挥发性金属卤化物(MX)及金属有机化合物(MR)等在高温中气相化学反应(热分解,氢还原、氧化、替换反应等)在基板上形成氮化物、氧化物、碳化物、硅化物、硼化物、高熔点金属、金属、半导体等薄膜方法。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。因只在高温下反应故用途被限制,但由于其可用领域中,则可得致密高纯度物质膜,且附着强度很强,若用心控制,则可得安定薄膜即可轻易制得触须(短纤维)等,故其应用范围极广。热CVD法也可分成常压和低压。低压CVD适用于同时进行多片基片的处理,压力一般控制在。江苏倒装共晶机厂家

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