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湖南晶圆测试探针台

来源: 发布时间:2024年01月24日

8英寸手动探针台用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,研发人员一般会采用万用电表的表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件(如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector),万用表点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台能够探测人类目前尚未发现的天文现象。湖南晶圆测试探针台

探针测试台x-y工作台的分类,纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为表示的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。湖北电学温控探针台多少钱探针台是人类探索宇宙的一个重要基石。

探针台,是我们半导体实验室电学性能测试的常用设备,也是各大实验室以及芯片设计、封装测试的熟客。设备具备各项优势,高性能低成本,用途广,操作方便,在不同测试环境下,测试结果稳定,客观,深受工程师们的青睐。探针台主要用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节,负责晶圆的输送与定位,确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试,实现更加精确的数据测试测量。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机。

承片台结构设计,根据工艺要求,承片台在继承现有抬升机构 稳定性、可靠性的同时,还应具有高低温控特性、低电磁吸收率、抗酸碱腐蚀等特性。设备要求温度 范围为-65~+200 ℃,这就要求承片盘温度在此范围内程控可调。制冷机构和加热机构必须和承 片盘非常接近,能够更大限度地减少能量浪费,以 快速达到所需测试温度。制冷机构和制热机构的 合理设计,可以更好地避免由于温度传导作用引 起其它零部件的温度大幅的变化。腔体内填充一 定浓度的特种气体进行测试,承片台的承片盘及 其他机械构件必须具有耐腐蚀,在承片台结构设 计时,需要在特种环境下对选用的加工件材料和 外购件进行可靠性实验,保证长时间在特种环境 下的有效性。探针台在天文学研究中具有举足轻重的作用。

四探针测试技术,是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上,由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I,然后测量出中间两根探针之间的电压V,就可以求出半导体的电阻率。对于厚度为W(远小于长和宽)的薄半导体片,得到电阻率为ρ=ηW(V/I),式中η是修正系数。特别,对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片,得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm],其中W用cm作单位。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台能够观测到远离地球的星系和恒星群。湖北电学温控探针台多少钱

探针台的工作需要合理规划和有条不紊的执行。湖南晶圆测试探针台

手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要较少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。湖南晶圆测试探针台

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