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来源: 发布时间:2024年07月03日

电子级氢氟酸的生产壁垒在于对金属离子含量的高标准。半导体中的金属离 子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性 等参数,且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分 布,导致半导体性能下降,因此氢氟酸对其中的金属离子含量有比较严格的要求, 且适用的晶圆半径越大,制程越好,对金属离子含量的要求越高。半导体用的氢 氟酸所有单项金属杂质的质量分数≤0.1μg/L,对应 SEMI 为 G4 以上等级的氢氟 酸,对应国内行业标准则是 UP-SS 及以上等级的氢氟酸。对于现在国际上主流的 12 寸晶圆,其制造过程中需要金属离子含量低于 0.0001μg/L,对应 SEMI G5 或者 UP-SSS 标准。在使用氢氟酸时必须使用符合标准的设备和工具。山东氢氟酸价钱

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氢氟酸(HF)的工业生产过程中,为了减少环境污染和保护工作人员的安全,可以采取以下环保措施:废气处理:HF生产过程中会产生大量的废气,其中包含有害的氟化物气体。为了减少废气对环境的影响,可以采用高效的废气处理设备,如湿式洗涤器、吸收塔或活性炭吸附等方法,将氟化物气体进行处理和净化。废水处理:HF生产过程中产生的废水含有高浓度的氟化物和酸性物质,具有强腐蚀性。废水应经过中和、沉淀、过滤等处理步骤,以降低其对水环境的污染,并确保排放水质符合相关标准。资源循环利用:在HF生产过程中,可以尽量回收和利用产生的废弃物和副产品,如回收废酸进行再利用,或将废酸用于其他工艺过程中,以减少废物的排放和资源的浪费。安全设施和操作规程:HF是一种剧毒的化学品,对人体有严重的危害。为了保护工作人员的安全,应配备必要的安全设施,如通风系统、防护装备、紧急洗眼器和淋浴器等,并建立严格的操作规程和培训计划,确保工作人员正确使用和处理HF,防止事故的发生。苏州氢氟酸要多少钱氢氟酸的储存温度应当在至℃之间。

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浓度低时因形成氢键具有弱酸性,但浓时(5mol/L以上)会发生自偶电离,此时氢氟酸就是酸性很强的酸了。液态氟化氢是酸性很强的酸,酸度与无水硫酸相当,但较氟磺酸弱。 [3] 腐蚀性强,对牙、骨损害较严重。对硅的化合物有强腐蚀性。应在密闭的塑料瓶内保存。用HF(氟化氢)溶于水而得。用于雕刻玻璃、清洗铸件上的残砂、控制发酵、电抛光和清洗腐蚀半导体硅片(与HNO3的混酸)。因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强,使得氢氟酸在水中不能完全电离。氢氟酸能够溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃(主要成分:二氧化硅),生成气态的四氟化硅反应方程式如下:SiO2(s)+4HF(aq)=SiF4(g)↑+2H2O(l)。

目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外,由于氢氟酸的强腐蚀性,采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重,因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关,垂直流向布置,原料( 无水氢氟酸和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下的流动,高纯氢氟酸的制备在中部,产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送,节省能耗,降低生产成本,同时可避免泵对产品的二次污染。氢氟酸可以与硝酸反应,产生氟硝酸盐。

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应力腐蚀是材料在应力和特定介质共同作用下所引起的材料开裂。在氢氟酸中碳钢和蒙乃尔合金均可能产生应力腐蚀开裂。这种应力腐蚀是随温度的增加而加剧。常用材料的耐氢氟酸腐蚀特性:1)碳钢在一定范围内能耐氢氟酸腐蚀。在无水氢氟酸中(酸浓度85~高标准,酸中含水≤3%)碳钢使用温度不高于71℃。但也有资料报道“在60℃以下,浓度大于75%以上的氢氟酸可以选用碳钢。”蒙乃尔合金是目前抗氢氟酸腐蚀较好的金属材料之一。2)高铬钢和铬镍不锈钢在氢氟酸浓度高于50%的介质中有严重的点腐蚀。12Cr和1Crl8Ni9Ti等不锈钢在氢氟酸中生成的保护膜致密性差,即使在常温下也能为氢氟酸所破坏。一般不选用。3)铸铁本身性脆,机械性能差,碳、硫、磷、硅含量较高。不耐氢氟酸腐蚀。氢氟酸在半导体工业中普遍应用,用于蚀刻硅芯片的表面。郑州氢氟酸批发

氢氟酸可以用于蚀刻金属标记和图案,制作耐久的刻字和图案。山东氢氟酸价钱

即使我国克服了所有困难生产出符合要求的高纯氟化氢,想替代日本公司也是很难的,因为芯片生产企业需要重新调试生产工艺,以便测试新原料对产品生产的影响。据估算调试工艺的时限大概是两个月的时间。一般的芯片企业不被逼到一定程度,不会下定决心更换原料的。半导体生产过程中所要用到的氢氟酸并不是普通的氢氟酸,而是超高精纯的电子级氢氟酸。由于普通工业级氢氟酸含有大量杂质,倘若用来生产半导体,基本上只能生产出废品来。因为芯片生产容不得过多的杂质,普通工业级氢氟酸含有的杂质对芯片生产影响十分大。那么问题来了,半导体生产中所需的高纯氟化氢要求多纯呢?据了解,日本生产的较高纯度的氢氟酸纯度为99.9%,这个纯度的高纯氟化氢,在目前较先进的芯片生产工艺中都能够完全适配,这也是韩国极度依赖从日本进口高纯氟化氢的重要原因了。山东氢氟酸价钱