NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 :
▪ XY比较大行程650*650mm
➢ 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸
▪ XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度
1um
▪ XY 平台比较大移动速度:200mm/s
▪ Z 轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进
▪ 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石
▪ 配置真空台面
▪ 配置Barcode 扫描板边二维码,可自动识别产品信息
▪ 主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加详细的产品信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。台式轮廓仪当地价格
白光干涉轮廓仪对比激光共聚焦轮廓仪
白光干涉3D显微镜:
干涉面成像,
多层垂直扫描
比较好高度测量精度:< 1nm
高度精度不受物镜影响
性价比好
激光共聚焦3D显微镜:
点扫描合成面成像,
多层垂直扫描
Keyence(日本)
比较好高度测量精度:~10nm
高度精度由物镜决定,1um精度@10倍
90万-130万
三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高 分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。(来自网络) 台式轮廓仪当地价格表面三位微观形貌的此类昂方法非常丰富,通常可分为接触时和非接触时两种,其中以非接触式测量方法为主。
NanoX-8000 3D轮廓测量主要技术参数
3D测量主要技术指标(1):
测量模式: PSI + VSI + CSI
Z轴测量范围: 大行程PZT 扫描 (300um 标配/500um选配)
10mm 精密电机拓展扫描
CCD相机: 1920x1200 高速相机(标配)
干涉物镜: 2.5X, 5X, 10X(标配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物镜切换: 5孔电动鼻切换 FOV: 1100x700um(10X物镜), 220x140um(50X物镜)
Z轴聚焦: 高精密直线平台自动聚焦
照明系统: 高 效长寿白光LED + 滤色镜片电动切换(绿色/蓝色)
倾斜调节: ±5°电动调节
横向分辨率: ≥0.35μm(与所配物镜有关)
3D测量主要技术指标(2):
垂直扫描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度测量范围: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
测量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
准确度 < 1nm
RMS重复性 < 0.01nm (1σ)
台阶高重复性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
准确度<1%
重复性<0.1% (1σ,10um台阶高)
表面三维轮廓仪对精密加工的作用:
一、从根源保障物件成品的准确性:
通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测,得出物件的误差和超差参数,**提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”,造成下游生产加工的更大偏离,**终导致整个生产链更大的损失。
二、提高效率:
智能化检测,全自动测量,检测时只需将物件放置在载物台,然后在检定软件上选择相关参数,即可一键分析批量测量。摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,**提高加工效率。
三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析:
表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数,无论加工的物件使用哪一种评定标准,都可以提供***的检测结果作为评定依据,可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。
四、稳定性强,高重复性:
仪器运用高性能内部抗震设计,不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描模块和测量软件完美结合,保证高重复性,将测量误差降低到亚纳米级别。 物镜是轮廓仪****的部件, 物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求。
轮廓仪是一种两坐标测量仪器,仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行,传感器的触针感受到被测表而的几何变化,在X和Z方向分别采样,并转换成电信号,该电信号经放大和处理,再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中,计算机对原始表而轮廓进行数字滤波,分离掉表而粗糙度成分后再进行计算,测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标,或放大的实际轮廓曲线,测量结果通过显示器输出,也可由打印机输出。(来自网络)
轮廓仪在集成电路的应用:
封**ump测量
视场:72*96(um)物镜:干涉50X 检测位置:样品局部
面减薄表面粗糙度分析
封装:300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D显示;线粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多层结构台阶高 MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析
激光隐形切割工艺控制 世界***的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成,**地缩
短了激光槽工艺在线检测的时间,避免人工操作带来的一致性,可靠性问题
表面三维评定参数由于能更***,更真实的反应零件表面的特征。台式轮廓仪当地价格
但是在共焦图像中,通过多***盘的操作滤除模糊细节(未聚焦),只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。台式轮廓仪当地价格
1.3. 培训计划
在完成系统布线并开始设备安装后,即向甲方和业主介绍整个系统的概况及性能、特点、设备布置情况和相互之间的关系等,让甲方和业主对整个系统有一个***的认识。
在整个系统验收前后,安排有关人员在进行培训。
1.4. 培训形式
公司指派技术人员向相关人员讲解系统的原理、功能、操作及维修保养要点;
向受训学员提供和解释有关设计文件及图纸等资料,使学员对系统的各个方面都能熟练掌握;
针对系统的具体操作一一指导,使相关人员掌握技术要领;
对学员提出的问题进行详细解答;
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