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中山DLC薄膜DLC涂层加工

来源: 发布时间:2023年02月13日

DLC类金刚石涂层的应用:DLC类金刚石涂层以它特有的优势应用于对摩擦和磨损有特殊要求的场合,而且得到了一直好评。1、模压成形领域:DLC类金刚石涂层技术可用于顶杆及各类镶件、模腔和型芯等。2、切削领域:可用于铣刀、钻头、硬质合金刀片等。3、引擎领域:活塞销、阀类、活塞、顶杆等。4、半导体领域:引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。5、金属材料成形领域:DLC涂层可用于凹模、凸模、压印成形、精密冲裁等。6、其他零部件:齿轮、轴类、凸轮、轴承和从动滚轮等零部件。DLC涂层在机械行业中有了很大的生存地位。中山DLC薄膜DLC涂层加工

浅谈DLC涂层的摩擦性能。DLC膜不但具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。珠海ALCRNDLC涂层处理了解DLC涂层在汽车领域的用途。

硬质合金刀具涂层方法近半个世纪以来,为提升刀具性能刀具表面涂层技术已成为主流,镀层就像刀具的盔甲一样,具有强大的防护、耐酸、耐氧化抗磨耗等特性,能够提高刀具表面硬度与热稳定係数,并降低摩擦係数以提升切削速度,从而提高加工效率也提升刀具寿命。刀具涂层技术可分为CVD(化学)与PVD(物理)两大类:CVDCVD为化学气相沉积(chemicalvapordeposition),利用生产纯度高与效能佳的固态材料化学技术,被广泛应用在硬质合金可转为刀具的表面处理,像是半导体产业会使用此技术来成长薄膜。CVD是将反应源以气体形式通入反应腔中,经由氧化、还原与基板反应进行化学的反应,进而生成物藉由内扩散作用而沉积至基板表面上。而反应过程中也有可能会产生不同的副产品,但大多会随著气流带走,并不会留在反应腔中。CVD技术主要用于硬质和金车削类的刀具涂层,适合用于中型、重型切削的高速加工,且比较起来CVD设备简单、工艺成熟,沉积物种类多,速率高易控制,有高度的渗透性与均匀性,能获得不同组织的多层涂层且厚薄均匀,重要的是工艺成本低,适合大量生产。

不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大,用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜,用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上,而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响, Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量,虽低于金刚石(110GPa),但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命,影响薄膜性能的两个重要因素,内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱,甚至脱落,所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。在许多刀具加工中,涂层的硬度及良好的粘附性至关重要。

制备较厚无氢DLC涂层的方法:生产无氢DLC涂层的技术还有待发展,生产超过5微米技术已经比较少见,原因是由于金刚石涂层的硬度高,与基底的结合力问题不好解决,另外沉积过程中金刚石涂层本身的内应力也非常大,所以无氢DLC涂层工艺的难度很高。从生产设备的角度来看,如果需要沉积厚度超过50微米的涂层,涂层本身沉积速率比较低的情况下,需要很长的沉积时间,所以弧源的设计和供气方式都有很高的设计要求。德国研究所设计了一种石墨柱弧的弧源,利用高能量的激光系统,轰击石墨柱弧的表面,在没有离子源辅助沉积的情况下,生产出了厚度超过50微米的纯碳无氢DLC涂层,主要应用在汽车零部件方面,高性能汽车的曲轴、活塞、活塞环、气门顶杆等。该制备方法需要长期在复杂的摩擦条件下可靠工作,需要很高的耐磨和润滑性能,但质量优异,在超过30年的时间里可以免维护。以非燃油为燃料的新能源汽车发动机中,DLC涂层的活塞环可在无润滑油的干态摩擦条件下起到良好的润滑作用。珠海ALCRNDLC涂层处理

DLC涂层因其内应力较大,涂层的结合力是稳定性的关键。中山DLC薄膜DLC涂层加工

传统的DLC涂层通常不到5微米,很容易被刮擦掉,远远达不到发动机的实际使用寿命。无论是在什么样的零件上使用,一般来说,在满足零件尺寸要求的前提下,涂层的厚度,尤其是DLC涂层的厚度往往是越厚越好,这样零件的耐磨性会相应提高。然而,一旦涂层的厚度增加,尤其是DLC层的厚度增加,就会导其内应力增大,影响涂层和基材结合力,导致涂层与基材剥离,这就对涂层的使用寿命和效率产生影响。因此,厚度及其表现出的耐磨性一直是应用上的一个瓶颈。但是这一问题随着涂层加工业的发展已经得到了克服,可以说,dlc涂层是一种性能良好的有着广阔应用前景及发展前景的涂层。中山DLC薄膜DLC涂层加工

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