“DLC”是英文“DIAMOND-LIKECARBON”一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，基本上可以分为含氢类金刚石(a-C:H)涂层，和无氢类金刚石涂层。含氢DLC涂层的氢含量在20%--50%之间，SP3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳（ta-c）膜，ta-c涂层中以sp3键为主，一般高于70%。DLC薄膜具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。DLC涂层的典型应用：1）切削工具：钻头、铣刀、硬质合金刀片（加工非铁类金属）2）金属材料成型模具：凸模、凹模、精密冲裁、压印成型零件3）模具成型：模腔和型芯、顶杆及各类镶件4）引擎部件：阀类、活塞销、顶杆、活塞5）其它零件：轴类、齿轮、轴承、凸轮等本公司引进瑞士专业DLC涂层设备PL1068，采用磁控溅射与PECVD相结合的方式，沉积DLC2(a-C:H）涂层和DLC3（ta-c）涂层。DLC2的硬度在2500HV，摩系数0.2，DLC3涂层的硬度高达6000HV，摩擦系数0.1，优异的性能吸引了众多刀具厂和模具厂的青睐。利晟纳米：DLC涂层的主要性能。江门医用器械DLCDLC涂层加工技术
DLC涂层类金钢石膜层是一种具有摩擦系数低、耐磨性高的固体润滑膜层，该膜的润滑是由于碳以石墨的微晶结构存在于膜层中，的改善了摩擦和耐磨性能。常用的硬质涂层在某些特殊领域的切削场合无法得以良好地应用,这些应用包括:铝合金、铜合金、石墨、亚克力、玻璃纤维等。厚度为1~1.5μm2、抗氧化温度为800℃摩擦系数大约为0.06~0.104、表面硬度达2200~3800HV5、膜层颜色为黑色1）具有很高的硬度，优良的耐磨性能。2）摩擦系数低，与基体结合力强，膜层涂覆均匀。3）具有优异的耐蚀性，能耐各种酸、碱等腐蚀；环保无毒。4）对金属、塑料、橡胶等脱模效果较好。该种涂层主要应用在在铝合金切削在DLC涂层的刀片在很大程度上解决了铝材的黏着问题，确保被加工件加工面始终保持较高的品质，刀具寿命也得以大幅提高。江门医用器械DLCDLC涂层加工技术近年来出现的含氢DLC涂层（以下简称DLC）和无氢DLC涂层（以下简称TaC）作为一种新的涂层材料和技术。
金刚石涂层工艺流程：1、工件基体处理。这一步是比较重要的，将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量，这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的，类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角，这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上，夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物，真空室中通入惰性气体并使其离子化，导致产生辉光放电(等离子体)，这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。3、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上（指靶材）加载高电流、低电压电弧，金属被蒸发并且瞬间离子化，属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在激i活的沉淀过程中，改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同样，通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。
DLC涂层的热稳定性。由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300℃以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20at%Si的DLC膜在740℃退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样，金属(如Ti、W、Cr)的掺入也可提高DLC膜的热稳定性，我们正在对这方面进行研究。DLC涂层的耐腐蚀性。纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。DLC涂层厂多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣。
DLC（类金刚石）涂层作为一种较为常见的PVD涂层，和金刚石几乎拥有一样的特性。由于其具有高硬度和高弹性模量、低摩擦因数、耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，因而通过气相沉积工艺获得的DLC涂层在众多有耐磨性以及硬度要求的零件上得到广泛应用。DLC工艺温度通常在200摄氏度左右，甚至更低，能够处理大多数的汽车零件；DLC涂层细腻光滑，自润滑性好，摩擦系数通常在0.1以下；硬度高，通常在Hv2200以上；尤其适合涂覆在汽车零件表面，承受频繁持续的高i强度摩擦磨损，起到提高零件使用性能、延长使用寿命的作用；另外，DLCZ高可耐受350摄氏度，且耐腐蚀性好、化学稳定性高、结构致密，能够胜任发动机的内部温度和工作环境。在许多刀具加工中，涂层的硬度及良好的粘附性至关重要。江门医用器械DLCDLC涂层加工技术
DLC涂层在许多纺织零部件也能发挥其优良的性能。江门医用器械DLCDLC涂层加工技术
dlc涂层的力学性能。a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜比较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石(110GPa)，但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜比较好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜/基结合强度一般比较低，广州有色金属研究院通过采用Ti/TiN/TiCN/TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N[12]，制备的膜导总体厚度可达5um。江门医用器械DLCDLC涂层加工技术
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