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深圳半导体零部件DLC涂层工艺

来源: 发布时间:2024年01月23日

“DLC”是英文“DIAMOND-LIKECARBON”一词的缩写。中山DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,基本上可以分为含氢类金刚石(a-C:H)涂层,和无氢类金刚石涂层。含氢DLC涂层的氢含量在20%--50%之间,SP3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳(ta-c)膜,ta-c涂层中以sp3键为主,一般高于70%。DLC薄膜具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,从而引起了摩擦学界的重视。DLC涂层的典型应用:1)切削工具:钻头、铣刀、硬质合金刀片(加工非铁类金属)2)金属材料成型模具:凸模、凹模、精密冲裁、压印成型零件3)模具成型:模腔和型芯、顶杆及各类镶件4)引擎部件:阀类、活塞销、顶杆、活塞5)其它零件:轴类、齿轮、轴承、凸轮等本公司引进瑞士专业DLC涂层设备PL1068,采用磁控溅射与PECVD相结合的方式,沉积DLC2(a-C:H)涂层和DLC3(ta-c)涂层。DLC2的硬度在2500HV,摩系数0.2,DLC3涂层的硬度高达6000HV,摩擦系数0.1,优异的性能吸引了众多刀具厂和模具厂的青睐。DLC涂层具有较低的摩擦系数,能够减少零部件之间的摩擦损耗,提高机械系统的效率和运行平稳性。深圳半导体零部件DLC涂层工艺

中山DLC(类金刚石)涂层作为一种较为常见的PVD涂层,和金刚石几乎拥有一样的特性。由于其具有高硬度和高弹性模量、低摩擦因数、耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,因而通过气相沉积工艺获得的DLC涂层在众多有耐磨性以及硬度要求的零件上得到广泛应用。DLC工艺温度通常在200摄氏度左右,甚至更低,能够处理大多数的汽车零件;DLC涂层细腻光滑,自润滑性好,摩擦系数通常在0.1以下;硬度高,通常在Hv2200以上;尤其适合涂覆在汽车零件表面,承受频繁持续的高i强度摩擦磨损,起到提高零件使用性能、延长使用寿命的作用;另外,DLCZ高可耐受350摄氏度,且耐腐蚀性好、化学稳定性高、结构致密,能够胜任发动机的内部温度和工作环境。深圳半导体零部件DLC涂层工艺DLC涂层具有非常高的硬度。

中山DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能,并可在低衬底温度(~200°C)下沉积。DLC薄膜通常是非晶的(即没有占主导地位的晶格结构),由sp2(石墨)和sp3(金刚石)相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间,而膜硬度和sp3含量可以根据具体应用而定制。

中山DLC涂层类金钢石膜层是一种具有摩擦系数低、耐磨性高的固体润滑膜层,该膜的润滑是由于碳以石墨的微晶结构存在于膜层中,的改善了摩擦和耐磨性能。常用的硬质涂层在某些特殊领域的切削场合无法得以良好地应用,这些应用包括:铝合金、铜合金、石墨、亚克力、玻璃纤维等。厚度为1~1.5μm2、抗氧化温度为800℃摩擦系数大约为0.06~0.104、表面硬度达2200~3800HV5、膜层颜色为黑色1)具有很高的硬度,优良的耐磨性能。2)摩擦系数低,与基体结合力强,膜层涂覆均匀。3)具有优异的耐蚀性,能耐各种酸、碱等腐蚀;环保无毒。4)对金属、塑料、橡胶等脱模效果较好。该种涂层主要应用在在铝合金切削在DLC涂层的刀片在很大程度上解决了铝材的黏着问题,确保被加工件加工面始终保持较高的品质,刀具寿命也得以大幅提高。DLC涂层的应用领域有哪些?

中山DLC涂层的应用。DLC金刚石涂层以其独特的优点应用于对摩擦和磨损有特殊要求的场合,并受到好评。1.模压成型领域:DLC金刚石涂层技术可用于顶杆及各种镶件.模腔及型芯等。2.切割领域:可用于铣刀.钻头.硬质合金刀片等。3.引擎领域:活塞销.阀类.活塞.顶杆等。4.半导体领域:引脚成形模具的刀口件.封装模具的成形镶嵌件及镶块等。5.金属材料成型领域:DLC涂层可用于凹模.凸模.压印成型.精密冲裁等。6.其他部件:齿轮.轴.凸轮.轴承及自动滚轮等部件。DLC涂层的制备方法有多种,其中常见的是物理i气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。汕尾空调内部零件DLC涂层应用

DLC涂层在珠宝、手表等奢侈品表面处理领域的应用。深圳半导体零部件DLC涂层工艺

中山DLC涂层是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。DLC涂层是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,从而引起了手表业界的重视。DLC涂层的表面状态。DLC膜表面一般较光洁,对基材的表面光洁度没有太大的影响,但随着膜厚的增加,表面光洁度会下降。不同的沉积方法所得到的DLC膜表面光洁度也是不同的,广州有色金属研究院采用离子源技术沉积的DLC膜表面质量明显优于电弧离子镀。DLC膜具有很好的抗粘结性,特别是对有色金属(如铜、铝、锌等),对塑料、橡胶、陶瓷等也有抗粘结性。深圳半导体零部件DLC涂层工艺

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