佛山DLC涂层加工技术

DLC类金刚石涂层的应用:DLC类金刚石涂层以它特有的优势应用于对摩擦和磨损有特殊要求的场合，而且得到了一直好评。1、模压成形领域：DLC类金刚石涂层技术可用于顶杆及各类镶件、模腔和型芯等。2、切削领域：可用于铣刀、钻头、硬质合金刀片等。3、引擎领域：活塞销、阀类、活塞、顶杆等。4、半导体领域：引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。5、金属材料成形领域：DLC涂层可用于凹模、凸模、压印成形、精密冲裁等。6、其他零部件：齿轮、轴类、凸轮、轴承和从动滚轮等零部件。DLC涂层上世纪70年代被命名为类金刚石薄膜。佛山DLC涂层加工技术

DLC类金刚石涂层是一种功能良好的耐磨涂层，由于在不同环境下的自润滑性、耐腐蚀、耐磨损以及高化学慵懒等优异功能，DLC涂层作为一种具有潜力的固体润滑资料，在微型机电体系、切削工具、机械密封、生物医学等范畴有着普遍的使用前景。DLC涂层的制备办法主要是物理i气相堆积法（PVD）和化学气相堆积法（CVD），不同的制备办法关于DLC涂层的突冲系数影响也有所不同，制备工艺的参数要素关于DLC涂层突冲系数也有较大影响。一、反响气源。反响气源的组成对DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。珠三角ALCRNDLC涂层哪家好DLC涂层具有诸多优点，在机械工件、G端装饰应用领域的突出特点是：低摩擦系数、高电阻和生物相容。

DLC涂层具有独特的高硬度和低摩擦系数，并且具有极强地抗与金属材料粘结的性能。因此，这种涂层技术成为汽车行业应用的理想选择。实际上，DLC涂层是指一个涂层种类，如表1所示，其包含有许多不同的涂层组分和生产工艺。DLC涂层也叫类金刚石涂层,兼备高硬度（＞HV2700）及较低的干摩擦系数（0.06-0.1），是一种可实现无油自润滑的涂层。该涂层极低的涂层处理温度，低可达130度，适合于所有金属材料及大多数有色金属的基体，DLC涂层不改变零件的有效尺寸及表面粗糙度.DLC涂层特有的性能，被普遍应用于模具，纺织零件，医疗器械，刀具，汽车发动机零件，装饰等行业。

常用的无氢DLC涂层制备方法：1、电弧离子镀。电弧离子镀是由Mattox于1964年首先公开了所发明的技术。它是在蒸发镀膜的同时，用来源于等离子体的离子轰击膜层。在上世纪70年代诸多电弧离子镀技术相继实用化，主要用于制备刀具涂层。电弧离子镀技术属于冷场致弧光放电，制备过程如下：工件经清洗入炉后抽真空。当真空度达到6X10-3Pa后，开启烘烤加热电源，对工件进行加热。达到一定温度后，通入氨气，真空度降至（3～5）×10-1Pa。接通工件偏压电源，电压调至100~200V。此时产生辉光放电，从阴极弧源表面发射出碳原子和石墨原子。在工件负偏压的作用下，沉积到工件形成DLC底层，以提高类金刚石涂层的附着力。2、离子辅助沉积。离子辅助沉积技术英文缩写IAD，是一种真空蒸发为基础的辅助沉积方法。是借助少量高能离子及大量高能中子的连续作用，将金属或金属化合物蒸气沉积在工件的一种表面处理过程。真空蒸发镀膜过程中沉积的原子或者分子在基体表面的有限迁移率形成柱状的薄膜结构，所以在沉积的过程中对生长的薄膜利用离子源轰击，将离子的动量传给沉积的原子或分子，使沉积的分子或者原子的迁移率得到提高。DLC涂层可以有效提高产品的品质。

DLC涂层具有优良的力学性能。（1）硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。（2）内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜\基结合强度一般比较低，通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N，制备的膜导总体厚度可达5um。咱们日常可见的是成都DLC涂层,它应用途径很多。佛山低温DLC涂层

DLC涂层具有极高硬度，材料的高压冲刷与颗粒很难对其造成损伤，从而延长模具寿命。佛山DLC涂层加工技术

金刚石涂层工艺流程：1、工件基体处理。这一步是比较重要的，将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量，这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的，类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角，这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上，夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物，真空室中通入惰性气体并使其离子化，导致产生辉光放电(等离子体)，这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。3、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上（指靶材）加载高电流、低电压电弧，金属被蒸发并且瞬间离子化，属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在激i活的沉淀过程中，改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同样，通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。佛山DLC涂层加工技术

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