浙江数控轴直线度激光干涉仪设计

从激光器发出的一束单色﹑频率稳定的激光,在分光镜上被分为强度相等的两束,一束经分光镜反射进入干涉仪的一臂(称为Y臂),另一束透过分光镜进入与其垂直的另一臂(称为X臂),在经历了几乎相同的度越时间之后,两束光返回,并在分光镜上重新相遇,并在那里产生干涉。若两束光的度越时间相等(或时间差为光振动周期的整数倍)则两束光在光探测器上干涉减弱呈暗条纹,而返回激光器的那个合光束则是干涉加强呈亮条纹。精心调节干涉仪的臂长使两束光完全相干相减,则探测器探测不到光强,激光干涉仪引力波探测器的输出信号为零。这是探测器的初始工作状态。激光干涉仪受环境因素影响较大。浙江数控轴直线度激光干涉仪设计

激光干涉仪的主要特点：测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。全套系统重量只15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。北京激光干涉仪多少钱激光干涉仪在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。

激光干涉仪在实际使用中，需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数Z终均与激光波长有关，因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外，激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对Z终的测量精度有着重要的影响。总结起来，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：①激光器频率(波长)及频率稳定性;②测量读数软件系统带来的误差;③反射镜、角锥棱角误差;④温湿度、压力传感器误差;当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。

激光干涉仪作为数控机床精度常用的检测工具，能对数控机床进行线性测量、直线度测量、平面度测量、角度测量、回转轴分度精度等进行测量。其中线性测量功能通过机床运行一段直线插补程序，能检测线性坐标轴的定位精度、重复定位精度，反向间隙等。以我司生产的型号XL-80激光干涉仪为例，其线性测长精度可达到±0.5ppm(0~40℃)，线性测量比较长可以达到80m，比较高线性测长分辨率0.001μm，比较高测量速度240m/min。激光干涉仪以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、Zgao测速下分辨率高等特点，其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此，激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。对激光干涉仪要小心轻放，避免强烈的冲击震动。

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用普遍。激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析。浙江数控轴直线度激光干涉仪设计

激光干涉仪维护保管时需要注意哪些方面？浙江数控轴直线度激光干涉仪设计

激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。浙江数控轴直线度激光干涉仪设计

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