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来源: 发布时间:2023年11月19日

根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 [1]  :(1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。(2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。用风速可以正确地表示出单向流,因为风速越高室内就越洁净。嘉定区建设项目园区净化工程厂家

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洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。金山区定制园区净化工程哪里买以前称这类洁净室为“层流”洁净室。

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人工光300lx有较好的效果,当工件精细程度更高时,500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,其照度一般为(25—501x),用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,这也是为了节能而出现的一种动向。防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生,因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。所谓静电,是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负(-)电荷等量的均匀的电中性状态,而使电荷过剩,物体呈带电状态,由于这些电荷平时是不流动的,故称静电。

(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。对于平行流洁净室习惯上称层流洁净室,由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低风速的可行性。在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。

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但是,和对待任何事物不能化一样,对待空气洁净技术的作用也不能化,不能把提高产品质量的作用完全归之于它。据国外材料分析,例如对于半导体元件部门,空气洁净技术在提高产品质量方面的作用大约在整个生产中占的比重为20%,而生产工艺自动化作用的比重占60%,其他因素占20%。当然,在已经解决了生产工艺的问题以后,空气净化就是主要矛盾,例如超大规模集成电路,没有洁净的环境,则几乎是生产不出来的。对于需要空气净化的行业和部门有:电子、精密机械、宇宙航空、化学工业,印刷工业,原子能工业、食品工业、医药工业、医院、动物实验、注塑工业等。送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。上海特制园区净化工程销售电话

净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。嘉定区建设项目园区净化工程厂家

3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息)4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)材料1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。嘉定区建设项目园区净化工程厂家

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