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CLT）系列卡盘：LA130、LA170、LA220普通型三爪夹头：SC-03、SC-04、SC-05、SC-06、SC-07、SC-08、SC-08、SC-09、SC-10、SC-12、连动型四爪夹头：PS-07、PS-09、SC-16PS-12、PS-16强力型三爪夹头可替换强力生爪、主要型号有：SK-06、SK-07、SK-08、SK-09、SK-10、SK-12、SK-16强力超薄型夹盘：NBK-06、NBK-08、NBK-10、NBK-12加工中心用四方型夹盘多台并列、以替换加工中心大量冶具、主要型号：MC-06、MC-08、MC-10、MC-12齿式三爪钢壳卡盘可替换修爪成型盘：NT-07、NT-09、NT-10、NT-12三爪精密微调钢壳卡盘：KT-06、KT-07、KT-09、KT-10、KT-12测试仪夹具手动卡盘：SE-02、SE-03、SE-04、SE-05、SE-06分度盘用气动卡盘、前置式气缸、用于第四轴轻切削：RT-05、RT-06、RT-08、RT-10铣加工中心用/内藏式中空油（气）压卡盘：气缸。全新强力超薄型夹盘现货上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务OPT-L系列。
所述功率供应线和所述功率回线上还串联有一个射频滤波器，使得所述加热电源经过所述射频滤波器连接到所述加热器驱动控制器；所述加热器驱动控制器中包括至少一个控制器和至少一个加热器驱动器，通过控制所述加热器驱动器输出到所述多个加热器的驱动信号来对所述多个加热器的功率输出进行控制。推荐地，所述等离子处理器还包括一个主机，用于存储并执行等离子处理工艺；所述控制器通过与所述主机通信连接，获取所述主机的控制指令，将所述控制指令转换成驱动信号发送至所述加热器驱动器，用以驱动所述多个加热器；或者，所述控制器将所述多个加热器接收到的静电夹盘温度经过所述加热器驱动器反馈给所述主机，实现对所述加热系统的控制。推荐地，所述控制器与所述主机之间的通信方式为光缆通信或无线蓝牙通信。推荐地，所述加热器驱动器中包括光耦或者蓝牙信号发射装置或者半导体开关，用于驱动所述多个加热器。推荐地，所述加热器驱动器和所述控制器集成在一个印刷电路板上，或者，所述加热器驱动器和所述控制器分开放置。推荐地，每个所述加热器的两端对应连接到所述加热器驱动器中的一组输出端口。推荐地，每个所述加热器中包括一加热电阻丝。推荐地。
.三爪卡盘上三个卡爪导向部分的下面，有螺纹与碟形伞齿轮背面的平面螺纹相啮合，当用扳手通过四方孔转动小伞齿轮时，碟形齿轮转动，背面的平面螺纹同时带动三个卡爪向中心靠近或退出，用以夹紧不同直径的工件。6.三个卡爪上有与平面螺纹相同螺牙与之配合，三个卡爪在爪盘体中的导槽中呈120均布。7.三个卡爪上换上三个反爪，用来安装直径较大的工件。三爪卡盘的自行对中精确度为。用三爪卡盘加工工件的精度受到卡盘制造精度和使用后磨损情况的影响。8.爪盘体的锥孔与车床主轴前端的外锥面配合，起对中作用，通过键来传递扭矩,***用螺母将卡盘体锁紧在主轴上。9.三爪卡盘由小锥齿轮驱动大锥齿轮。**锥齿轮的背面有阿基米德螺旋槽，与3个卡爪相啮合。因此用扳手转动小锥齿轮﹐便能使3个卡爪同时沿径向移动，实现自动定心和夹紧﹐11.大锥齿轮适于夹持圆形﹑正三角形或正六边形等的工件。12.三个卡爪有正爪和反爪之分，有的卡盘可将卡爪反装即成反爪，当换上反爪即可安装较大直径的工件。 上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务L-R系列。
技术实现要素：本发明的目的是提供一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法，加热器驱动器与mcu(控制器)采用集成结构以及将mcu和主机之间采用不需要射频滤波的光纤通信或无线蓝牙通信方式，将加热器驱动器与mcu直接放置在多区加热器下方，使得加热器驱动器与mcu同多区加热器基本处于同电位状态，减少不必要的射频滤波器，便于配置设计，结构简单，还可以在满足功能的基础上减轻设计上对空间的需求。为了达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现：一种等离子处理器，所述等离子处理器包括一反应腔，反应腔内包括一个用于支撑基片的基座，一个射频电源连接并供应射频功率到所述基座，所述基座上包括一静电夹盘和用于控制静电夹盘温度的一加热系统，所述加热系统包括多个加热器分别用于控制静电夹盘不同区域的温度，所述加热系统还包括：加热器驱动控制器，其与所述多个加热器连接，用于驱动所述多个加热器，所述加热器驱动控制器位于所述多个加热器下方的射频辐射环境中；位于反应腔外大气环境中的加热电源，其与所述加热器驱动控制器之间通过一根功率供应线和一根功率回线实现电连接，为所述加热器驱动控制器和所述多个加热器进行供电。千岛强力超薄型NBK-06。河南后拉式气压夹头强力超薄型夹盘
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密封件111的底部1111和外壁1112分别包裹杯形夹盘101基部1011的底壁和侧壁的外表面。**后，固定环109通过多个螺丝110固定在杯形夹盘101边沿1013的底部，固定环109紧压密封件111的突起1113。参考图20b所示，图20b揭示了本发明的基本原理。为了提高基板缺口区域附近镀层的均匀性，盖板被配置为遮盖基板的缺口区域，在基板进行电镀时屏蔽缺口区域的电场。如图20b所示，在电镀过程中，因为盖板3033被配置为遮盖基板的缺口区域3031，与缺口区域3031相对应的虚拟阳极3001发出的电力线被屏蔽，减弱了对邻近缺口区域3031的图形区域3032的影响，因此，降低了邻近缺口区域3031的图形区域3032的镀层的厚度，提高了基板镀层的均匀性。较佳地，盖板3033也遮盖部分邻近缺口区域3031的图形区域3032，来减弱图形区域3032的电场，进而降低图形区域3032的镀层的厚度。参考图21所示，图21是效果对比图。在图21中，线1对应的是没有缺口区域的基板的电镀数据，这样整个基板在电镀过程中被电镀。没有缺口区域的整个基板的镀柱高度是均匀的。线2对应的是有缺口区域的基板但是在电镀过程中没有盖板遮盖缺口区域的电镀数据。在邻近缺口区域的图形区域的镀柱高度逐渐增高。江西可调强力超薄型夹盘
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