千岛三爪液压卡盘产地：中国台湾品牌：千岛型号：OP/CL-06/08/10/12发布时间：2013-09-14浏览：357产品介绍卡盘、分度盘卡盘、超薄夹盘、立式内藏油（气）压卡盘、精密微调钢壳卡盘、两轴自动求心、四方型夹盘、油（气）压回转缸、卡盘卡爪。千岛Chandox卡盘---有OPT、OP、OPF、P、CLT、CL、PL、L、MPL、MOT、MO、TK、RT、SC、PS、AS、AE、SK、PSK、NBK、NT、TNT等系列卡盘。三爪中空液压卡盘：OP-205，OP-206，OP-208，OP-210，OP-212，OP-215，OP-221二爪中空液压卡盘：OPT-206，OPT-208，OPT-210，OPT-212四爪中空液压卡盘：OPF-206，OPF-208，OPF-210，OPF-212三爪中实液压卡盘：CL-05，CL-06，CL-08，CL-10，CL-12，CL-15，CL-21/DP三爪大孔径卡盘：OPB-206，OPB-208，OPB-210中空/中实油缸：P1246，P1552，P1875，P2091，L1020，L1225，L1530强力夹盘/超薄夹盘：NBK-06，NBK-08，NBK-10，NBK-12，SE-02，SE-03，SE-04，SE-05手动卡盘：SC-03，SC-04，SC-05，SC-06，SC-07，SC-08，SC-10，SC-12，SC-16铣/钻床卡盘：MO-06，MO-08，MO-10，MA-06，MA-08分度盘卡盘：RT-05，RT-06，RT-08超精密气动卡盘：TK-04，TK-06，TK-08千岛油压硬爪/软爪HJ-06，HJ-08，HJ-10，HJ-12。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务P-S系列。江西油缸强力超薄型夹盘
术语“包括”、“包含”、“具有”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”或“包含……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的要素。图2所示为本发明的一种等离子处理器的结构示意图，等离子处理器包括真空反应腔100，真空反应腔包括由金属材料制成的大致为圆柱形的反应腔侧壁。反应腔侧壁上方设置一气体喷淋装置150，气体喷淋装置与气体供应装置160相连。气体供应装置160中的反应气体经过气体喷淋装置150进入真空反应腔100。真空反应腔100的下方设置一支撑静电夹盘115的基座110，静电夹盘115上用于放置待处理基片120。真空反应腔100的侧壁上设有传片门，即该传片门为反应腔一侧侧壁上的开口，用于将晶圆在反应腔内外之间传输。本发明的静电夹盘115包含下极板，气体喷淋装置150还作为上极板，两者之间的距离为极板间距。射频功率源145的射频功率施加到基座110。浙江油缸强力超薄型夹盘千岛强力超薄型手动卡盘适合任何加工中心使用。
所述支承台的上表面对应于所述掩模基板的对应定位孔位置布置有上凸圆柱，其特征在于：所述支承台的对应于掩模基板的每个角的两侧边分别设置有导向凸台，每个所述导向凸台内侧立面平行于掩模基板的对应侧边布置，每个所述支承台上的一对导向凸台的相向面之间设置有垂直安装槽，每个所述支承台还设置有内凸挡块，所述内凸挡块包括上部内凸止挡部分、底部卡装部分，所述底部卡装部分塞装于所述垂直安装槽内，掩模基板定位到上凸圆柱后、所述上部内凸止挡部分位于所述掩模基板的正上方面域布置。其进一步特征在于：所述内凸止挡部分具体为自下而上向内逐渐内凸的斜角结构，所述内凸止挡部分高于所述掩模基板的上表面布置；所述垂直安装槽的底部用于放置掩模基板的对应角区域；所述支承台具体为圆柱形结构，每个所述导向凸台的外弧面仿形于所述支承台的对应位置弧面设置、使得支承台和导向凸台成为一体结构；所述内凸挡块的远离所述上凸圆柱的外表面固接有外凸手持件，所述外凸手持件使得内凸挡块方便脱离所述支承台；所述外凸手持件具体为紧固螺丝，所述紧固螺丝的螺纹端固接于所述内凸挡块的外露端面，所述紧固螺丝的大头端外露、为外凸手持件的握持部分。
揭示了根据本发明另一实施例的护罩2640。护罩2640包括底壁2641、从底壁2641向上延伸的侧壁2642、从侧壁2642的顶部向外延伸的顶壁2643。底壁2641水平突出形成盖板2644。在该实施例中，盖板2644上设有多个孔2645。护罩2640的盖板2644在基板电镀过程中遮盖基板的缺口区域。较佳地，护罩2640的盖板2644也遮盖部分邻近基板的缺口区域的图形区域。基板和护罩2640的盖板2644之间的电镀液通过护罩2640上的多个孔2645形成流动的电镀液。护罩2640可以由塑料、橡胶或者具有绝缘涂层的金属制成。参考图27至图29所示，揭示了本发明的另一实施例。揭示了电镀夹盘的密封件2711。密封件2711包括底部27111、外壁27112及内壁27114。外壁27112的顶端设有突起27113。内壁27114弯曲形成唇形密封部27115。内壁27114与唇形密封部27115相连的末端水平延伸形成固定部27116。内壁27114水平突出形成盖板27117。在该实施例中，盖板27117上设有开口27118。开口27118是一个狭长的切口。开口27118靠近内壁27114。也有其他方法可以形成盖板27117。所需形状的盖板27117可以用胶水水平固定在内壁27114上。在电镀过程中，盖板27117遮盖基板的缺口区域。较佳地，盖板27117也遮盖部分邻近基板缺口区域的图形区域。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务OPBT系列。
密封件111的底部1111和外壁1112分别包裹杯形夹盘101基部1011的底壁和侧壁的外表面。**后，固定环109通过多个螺丝110固定在杯形夹盘101边沿1013的底部，固定环109紧压密封件111的突起1113。参考图20b所示，图20b揭示了本发明的基本原理。为了提高基板缺口区域附近镀层的均匀性，盖板被配置为遮盖基板的缺口区域，在基板进行电镀时屏蔽缺口区域的电场。如图20b所示，在电镀过程中，因为盖板3033被配置为遮盖基板的缺口区域3031，与缺口区域3031相对应的虚拟阳极3001发出的电力线被屏蔽，减弱了对邻近缺口区域3031的图形区域3032的影响，因此，降低了邻近缺口区域3031的图形区域3032的镀层的厚度，提高了基板镀层的均匀性。较佳地，盖板3033也遮盖部分邻近缺口区域3031的图形区域3032，来减弱图形区域3032的电场，进而降低图形区域3032的镀层的厚度。参考图21所示，图21是效果对比图。在图21中，线1对应的是没有缺口区域的基板的电镀数据，这样整个基板在电镀过程中被电镀。没有缺口区域的整个基板的镀柱高度是均匀的。线2对应的是有缺口区域的基板但是在电镀过程中没有盖板遮盖缺口区域的电镀数据。在邻近缺口区域的图形区域的镀柱高度逐渐增高。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务VL-DP系列。江西油缸强力超薄型夹盘
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