图30揭示了根据本发明的又一实施例的密封件的******图。图31揭示了图30所示的密封件的剖视图。图32揭示了图31的局部放大图。图33a至图33h揭示了本发明的各种形状的盖板。具体实施方式本发明提出了一种在基板处理过程中固持基板的基板保持装置，例如，将基板浸没在电解液中电镀。当基板浸没在电解液中以在基板的正面电镀金属层时，基板正面的边缘和基板背面需要被保护，避免接触到电解液。因此，与现有技术的区别在于，当基板浸没在电解液中电镀时，本发明的基板保持装置利用密封件来阻止电解液接触基板正面的边缘和基板背面，且该密封件是可替换的。参考图1至图6所示，为本发明的基板保持装置100。该基板保持装置100包括杯形夹盘101和夹盘板102。杯形夹盘101包括杯形的基部1011，基部1011围成穿透的接收空间1012。基部1011具有底壁、侧壁的外表面和侧壁的内表面。基部1011的侧壁的内表面是倾斜的，有利于装载基板113。基部1011的上端向外延伸形成边沿1013。基部1011的侧壁的内表面倾斜的向上突出形成支撑部1014，该支撑部1014位于基部1011的下端。当基板113被放入接收空间1012内时，支撑部1014承载基板113。基部1011的下端开设有凹槽1015。千岛超薄型夹盘SE-05.扣件强力超薄型夹盘优势
多个螺丝114穿过***螺孔1016和第二螺孔1124将接触环112的主体部1121、杯形夹盘101的底座与杯形夹盘101的基部1011固定在一起。多个***指形部1122接触基板113正面边缘处的种子层，且接触点位于距基板113的外边缘小于2mm处。在电镀过程中，基板113与电源电极相连，通过接触环112传导电流。杯形夹盘101由导电材料制成以传导电流。多个第二指形部1123紧压密封件111的固定部1116，将密封件111的固定部1116固定在杯形夹盘101的凹槽1015内，避免密封件111从杯形夹盘101上脱落。***指形部1122和第二指形部1123交替设置。对于300mm的基板来说，***指形部1122的数量应该不小于200个。如果***指形部1122的数量太少，会导致基板113上的电流分布不均匀，进而导致基板113上的沉积速率不均匀。接触环112由导电材料制成，例如不锈钢、铜、钛、铱、钽、金、银、铂金和其他类似合金。接触环112也可以由具有铂金涂层或金涂层的不锈钢、钛、钽、铝制成。接触环112还可以由其他高导电性的材料制成。较佳的，接触环112由弹簧钢制成。如图17a-17f所示，基板113的形状可以是圆形、椭圆形、三角形、正方形、长方形、八边形等。相应的，杯形夹盘101和夹盘板102设计成与基板113相匹配的形状。全新强力超薄型夹盘原理上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务P-S系列。
在顶部表面202处的***多个通口210为实质上圆形的形状。尽管圆形通口可改善装置200的制作容易度，应考虑如参照图3b所述，可利用任何通口的形状。尽管显示数个通口210横跨主体201的顶部表面202而分布，适合能够实质上平坦夹持基板100的通口210的数量、布置或分布均考虑为本公开内容的范围之中。图3b图解根据此处所述的实施方式的图2的真空夹持装置200的平面视图。图解的通口210为不规则的形状，以相对于图3a中所显示的实施方式，增加基板暴露至真空的表面积。只要通口210与支撑元件208对齐，可利用任何所期望的形状。图4图解根据此处所述的实施方式的真空夹持装置200的截面视图。在图解的实施方式中，装置200包括第二多个通口404、第二多个导管402和第二真空源406。第二多个通口404形成于空腔206的底部表面203中，且第二多个导管402从第二多个通口404的各者通过主体201延伸至底部表面204。第二多个导管402因此耦接至第二真空源406。在操作中，图4的装置200能够以不同压力夹持基板100。经由***多个导管212和***多个通口210与基板100流体连通的***真空源214产生***真空压力，以将基板夹持至主体201的顶部表面202。
.三爪卡盘上三个卡爪导向部分的下面，有螺纹与碟形伞齿轮背面的平面螺纹相啮合，当用扳手通过四方孔转动小伞齿轮时，碟形齿轮转动，背面的平面螺纹同时带动三个卡爪向中心靠近或退出，用以夹紧不同直径的工件。6.三个卡爪上有与平面螺纹相同螺牙与之配合，三个卡爪在爪盘体中的导槽中呈120均布。7.三个卡爪上换上三个反爪，用来安装直径较大的工件。三爪卡盘的自行对中精确度为。用三爪卡盘加工工件的精度受到卡盘制造精度和使用后磨损情况的影响。8.爪盘体的锥孔与车床主轴前端的外锥面配合，起对中作用，通过键来传递扭矩,***用螺母将卡盘体锁紧在主轴上。9.三爪卡盘由小锥齿轮驱动大锥齿轮。**锥齿轮的背面有阿基米德螺旋槽，与3个卡爪相啮合。因此用扳手转动小锥齿轮﹐便能使3个卡爪同时沿径向移动，实现自动定心和夹紧﹐11.大锥齿轮适于夹持圆形﹑正三角形或正六边形等的工件。12.三个卡爪有正爪和反爪之分，有的卡盘可将卡爪反装即成反爪，当换上反爪即可安装较大直径的工件。 千岛强力超薄型NBK-06。
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在真空反应腔100内产生将反应气体解离为等离子体的电场，等离子体中含有大量的电子、离子、激发态的原子、分子和自由基等活性粒子，上述活性粒子可以和待处理基片的表面发生多种物理和化学反应，使得基片表面的形貌发生改变，即完成刻蚀过程。真空反应腔100的下方还设置一排气泵125，用于将反应副产物排出真空反应腔100。反应腔内设置有基于多区加热器121的加热系统，该多区加热器121位于静电夹盘115和基座110之间，用于控制静电夹盘不同区域的温度，促成静电夹盘115上的基片120与反应腔室中的等离子体进行反应，从而实现对基片120的加工制造。如图2和图3结合所示，本发明的加热系统包含多区加热器121、加热器驱动控制器和加热电源。多区加热器121包含多个加热器，如图3中的加热器1、加热器2、加热器3、加热器4等等，分别用于控制静电夹盘115的不同区域的温度。加热器驱动控制器中包括至少一个mcu(也称控制器)和至少一个加热器驱动器。加热器驱动控制器与多个加热器连接，用于驱动多个加热器。每个多个加热器均包括一加热电阻丝，且每个加热器的两端对应连接到加热器驱动器中的一组输出端口。加热器驱动器中包括光耦或者蓝牙信号发射装置或者半导体开关。扣件强力超薄型夹盘优势
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