多个螺丝114穿过***螺孔1016和第二螺孔1124将接触环112的主体部1121、杯形夹盘101的底座与杯形夹盘101的基部1011固定在一起。多个***指形部1122接触基板113正面边缘处的种子层，且接触点位于距基板113的外边缘小于2mm处。在电镀过程中，基板113与电源电极相连，通过接触环112传导电流。杯形夹盘101由导电材料制成以传导电流。多个第二指形部1123紧压密封件111的固定部1116，将密封件111的固定部1116固定在杯形夹盘101的凹槽1015内，避免密封件111从杯形夹盘101上脱落。***指形部1122和第二指形部1123交替设置。对于300mm的基板来说，***指形部1122的数量应该不小于200个。如果***指形部1122的数量太少，会导致基板113上的电流分布不均匀，进而导致基板113上的沉积速率不均匀。接触环112由导电材料制成，例如不锈钢、铜、钛、铱、钽、金、银、铂金和其他类似合金。接触环112也可以由具有铂金涂层或金涂层的不锈钢、钛、钽、铝制成。接触环112还可以由其他高导电性的材料制成。较佳的，接触环112由弹簧钢制成。如图17a-17f所示，基板113的形状可以是圆形、椭圆形、三角形、正方形、长方形、八边形等。相应的，杯形夹盘101和夹盘板102设计成与基板113相匹配的形状。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务P-S系列。虎钳强力超薄型夹盘机械结构
精密车床附件：品牌:【千岛CHANDOX】OPT系列二爪高速中空油压夹头，OP系列三爪高速中空油压夹头，OPF系列四爪高速中空油压夹头，P系列高速中空油压回转缸，OPB系列大孔径三爪高速中空油压夹头，P-S系列大孔径超薄中空油压回转缸，PL系列后拉式油压夹头，CLT系列二爪空实油压夹头，CL系列三爪中实油压夹头，L系列中实油压回转缸，L-R系列中实油压回转缸（附止逆装置），MA系列两轴自动求心气压夹盘，MOT系列内藏式中空（气）油压二爪夹盘，MO系列内藏式中空（气）油压三爪夹盘，MTK-T系列内藏式超精密二爪气压夹盘，MTK系列内藏式超精密三爪气压夹盘，TK-T系列二爪超精密气压夹头，TK系列三爪超精密气压夹头，TB气压回转器，MR系列三爪气压夹盘，MR-S系列双气缸三爪气压夹盘，RT系列回转式气压夹盘，挡料杆，CNC车床拉料器，SC系列普通三爪夹头，AS系列锥型六爪夹头，PS系列联动型四爪夹头，AE系列锥型八爪夹头，SK系列强力型三爪夹头，A1系列直装型三爪夹头，PSK系列强力连动型四爪夹头，SO系列强力生爪，NBK系列强力超薄型夹盘，MC系列方型超薄夹盘，SE系列超薄型夹盘，***系列齿式二爪钢壳夹头，NT系列齿式三爪钢壳夹头，CT系列可调式普通型三爪钢壳夹头。安徽进口强力超薄型夹盘千岛强力方型超薄型MC-06。
为了装配密封件111和接触环112，首先，从杯形夹盘101的基部1011上拆下基座，然后密封件111的唇形密封部1115包裹杯形夹盘101的支撑部1014，且密封件111的固定部1116位于杯形夹盘101的凹槽1015内。使用多个螺丝将接触环112的主体部1121固定在杯形夹盘101的底座上，接触环112的第二指形部1123将密封件111的固定部1116紧压在杯形夹盘101的凹槽1015内。然后，多个螺丝114穿过杯形夹盘101上的***螺孔1016和接触环112上的第二螺孔1124以将基座和杯形夹盘101的基部1011固定在一起。随后，密封件111的底部1111和外壁1112分别包裹杯形夹盘101基部1011的底壁和侧壁的外表面。**后，固定环109通过多个螺丝110固定在杯形夹盘101的边沿1013的底部，且固定环109紧压密封件111的突起1113。使用该基板保持装置100进行电镀工艺包括以下步骤：步骤1：将基板保持装置100移动到装载或卸载位置。步骤2：竖直驱动装置103驱动夹盘板102上升。步骤3：将基板113装载在密封件111的唇形密封部1115上，基板113正面朝下裸露出来。步骤4：竖直驱动装置103驱动夹盘板102下降夹持基板113，密封件111的唇形密封部1115密封基板113正面的边缘，接触环112的多个***指形部1112接触基板113正面边缘处的种子层。
本实用新型涉及开炼机结构的技术领域，具体为一种掩模工艺夹盘。背景技术：掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具，其可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模制作单位根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模显影、湿法蚀刻、去胶工艺过程中，会将掩模基板放置于工艺夹盘上进行工艺制作，在工艺过程结束前，会使用去离子水冲洗掩模基板表面，并通过高速旋转去除掩模基板表面的水。在高速旋转过程中，现有的工艺夹盘*通过四个支承台、和每个支承台上对应凸起圆柱放置对应的掩模基板，在掩模基板高速旋转过程中，会将掩模基板旋出、造成掩模基板破碎、机台当机。技术实现要素：针对上述问题，本实用新型提供了一种掩模工艺夹盘，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。一种掩模工艺夹盘，其技术方案是这样的，其包括其包括盘本体，所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台。千岛强力方型超薄型MC-10。
用于驱动多个加热器。mcu与加热器驱动器连接，通过控制加热器驱动器输出到多个加热器的驱动信号来对多个加热器的功率输出进行控制，以实现对静电夹盘的不同区域进行升温或降温操作。反应腔体内部均受到射频功率的辐射，任何从射频辐射区连出的导线均需要通过滤波器才能将射频功率阻挡在反应腔体内，防止射频功率泄露。其中，加热器驱动控制器位于反应腔**频辐射环境中，加热电源位于反应腔外大气环境中。本发明的加热器需要通过导电线路向反应腔内的加热系统供电，所以位于反应腔外大气环境中的加热电源通过导线和串联在导线上的射频滤波器进入反应腔内。本发明的等离子处理装置中还包括一个主机，用于存储处理工艺的参数如温度、频率、功率、气体成分流量，执行时间等，也用于执行等离子处理工艺执行，也可以检测上述各种参数。具体地，mcu与主机通信连接，mcu获取主机的控制指令，并将该控制指令转换成驱动信号发送给加热器驱动器，使得加热器驱动器对应地驱动多个加热器对静电夹盘进行加热工作，mcu还可以将多个加热器接收到的静电夹盘温度通过加热器驱动器反馈给主机，实现对加热系统的控制。千岛超薄型夹盘SE-03.湖北超薄型油缸强力超薄型夹盘
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电主轴技术发展趋势主要表现在以下几个方面：一．高速度，高刚度由于高速切削和实际应用的需要，随着主轴轴承及其润滑技术、精密加工技术、精密动平衡技术、高速刀具及其接口技术等相关技术的发展，数控机床用电主轴高速化已成为目前发展的普遍趋势，如钻、铣用电主轴，瑞士IBAG的HF42的转速达到140000r／min，英国WestWind公司的PCB钻孔机电主轴D1733更是达到了250000r／min；加工中心用电主轴，瑞士FISCHER最高转速达到42000r／min，意大利CAMFIOR达到了75000r／min。在电主轴的系统刚度方面，由于轴承及其润滑技术的发展，电主轴的系统刚度越来越大，满足了数控机床高速、高效和精密加工发展的需要。二、高速大功率。低速大转矩根据实际使用的需要，多数数控机床需要同时能够满足低速粗加工时的重切削、高速切削时精加工的要求，因此，机床电主轴应该具备低速大转矩、高速大功率的性能。如意大利CAMFIOR、瑞士Step—Tec、德国GMN等制造商生产的加工中心用电主轴，低速段输出转矩到200Nm以上的已经不是难事，德国CYTEC的数控铣床和车床用电主轴的最大扭矩更是达到了630N·m；在高速段大功率方面，一般在l0～50kW；CYTEC电主轴的最大输出功率为50kW。虎钳强力超薄型夹盘机械结构
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