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这种微制造工艺具有精确、设计灵活、尺寸微型化、可与信号处理电路集成、低成本、大批量生产的优点。早期微型麦克风是基于压阻效应的，有研究报道称，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜为敏感膜的麦克风。但是，在敏感膜内不存在应力的情况下，这样大并且很薄的多晶硅膜的一阶谐振频率将低于300Hz。一阶谐振频率在这样低的频段范围内将导致麦克风在听觉频率范围内的频率响应极不均匀(灵敏度的变化量大于40dB)，这对于麦克风应用是不可接受的。当敏感膜内存在张应力时，其谐振频率将增大，却以**灵敏度为代价。当然，可以通过调整敏感膜的尺寸来获得更高的一阶谐振频率，但是这仍将减小灵敏度。由此可见，压阻式方案并不适于微型麦克风的制造 [3]  。麦克风是将声音信号转换为电信号的能量转换器件。福田区新型麦克风货源充足

20世纪初，麦克风由**初通过电阻转换声电发展为电感、电容式转换，大量新的麦克风技术逐渐发展起来，这其中包括铝带动圈等麦克风，以及当前***使用的电容麦克风和驻极体麦克风。圈麦克风的工作原理是以人声通过空气使震膜振动，然后在震膜上的电磁线圈绕组和环绕在动圈麦头的磁铁形成磁力场切割，形成微弱的波动电流。电流输送到扩音器，再以相反的过程把波动电流变成声音 [4]  。铝带麦克风对于铝带麦克风来说，其使用的铝带既是麦克风膜片，又是在磁场中运动的导体。铝带通常由铝帛制成，厚0~1毫米，宽2毫米~4毫米，质量*为0.2毫克，以求达到较好的瞬态反应。为了取得在2kHz~4kHz之间较理想的共振频率，铝带被制成皱折状以保持一个精确的张力值。铝带作为导体和麦克风膜片被悬挂于两磁极面中间的磁场中，随入射声波频率而振动，同时在铝带两端产生一定的电压输出 [2]  。福田区新型麦克风货源充足动态范围小，会引起声音失真，音质变坏，因此要求足够大的动态范围 [6] 。

灵敏度指麦克风的开路电压与作用在其膜片上的声压之比。实际上，麦克风在声场必然会引起声场散射，所以灵敏度有两种定义。一种是实际作用于膜片上的声压，称为声压灵敏度，另一种是指麦克风未置入声场的声场声压，称为声场灵敏度，其中声场灵敏度又分为自由场灵敏度和扩散场灵敏度。通常录音用麦克风给出声压灵敏度，测量用麦克风因应用类型给出声压或声场灵敏度 [5]  。灵敏度的单位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用灵敏度级来表示，参考灵敏度为1V/Pa [5]  。

送话器是电话机重要器件之一，它可把声音转换成话音电流，所以是声电转换器件。送话器一般分为两类，即线性送话器和非线性送话器。人们把灵敏度不随声压大小变化的送话器称为线性送话器，反之则称为非线性送话器。常用的送话器中，炭精式送话器为非线性送话器，电磁式送话器、动圈式送话器、压电式送话器、驻极体送话器为线性送话器。送话器有正、负极之分，在维修时应注意，如极性接反，送话器就不能输出信号。另外，送话器在工作时还需要为其提供偏压，否则，也会出现不能送话的故障现象。送话器与主板的连接方式有点触式和焊接式。  。一般分全向型、心型、超心型、8字型 [5] 。

一种可行的解决方案就是采用电容式方案，来制造微型麦克风。这一方法的优点就是：在集成电路制造工艺中使用的所有材料都可用于传感器的制造。但是采用单芯片工艺制造微麦克风有相当难度，因为在两个电容极板之间的空气介质只能有很小的间隔。而且，由于尺寸的限制，在一些应用场合偏置电压很难满足。基于上述问题，对于电容式麦克风的研究一直没有间断过 [3]  。相比传统的驻极体麦克风，微机电系统（micro-electro-mechanical systems，MEMS）麦克风拥有体积小、耐热性好、一致性好、稳定性好、可靠性高、抗射频干扰等优势，还可以输出数字信号并有利于智能化发展，其市场规模在近10年保持快速增长的势头，各种新兴应用层出不穷，从智能手机到智能音箱，再到真无线立体声（true wireless stereo，TWS）耳机。 [9]麦克风，学名为传声器，由英语microphone（送话器）翻译而来，也称话筒，微音器。罗湖区原装麦克风厂家直供

频率响应曲线图中，横轴为频率，单位为赫兹，大部份情况取对数来表示；纵轴则为灵敏度，单位为分贝 [5] 。福田区新型麦克风货源充足

麦克风，学名为传声器，由英语microphone（送话器）翻译而来，也称话筒，微音器。麦克风是将声音信号转换为电信号的能量转换器件。分类有动圈式、电容式、驻极体和**近新兴的硅微传声器，此外还有液体传声器和激光传声器。大多数麦克风都是驻极体电容器麦克风，其的工作原理是利用具有长久电荷隔离的聚合材料振动膜 [1]  。麦克风根据其换能原理可划分为电动麦克风和电容麦克风两种。其中电动类又可细分为动圈麦克风和铝带麦克风 [2]  。常见的商用麦克风类型有电容式麦克风、晶体麦克风碳质麦克风以及动态麦克风。常用的电容式麦克风使用的能量源有两种：直流偏置电源和驻极体薄膜。这两种电容式麦克风和晶体麦克风都是将声能转换为电能，产生一个变化的电场。碳质麦克风采用直流电压源，通过声音振动改变其电阻，从而将声信号转换为电信号。电容式、晶体以及碳质麦克风都产生一个与敏感膜位移成正比的电压信号，而动态麦克风则产生一个与敏感膜的振动的振动速率成正比的电压信号。动态麦克风采用永磁体为能量源，基于电感效应将声能转换为电能 [3]  。福田区新型麦克风货源充足

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