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这种微制造工艺具有精确、设计灵活、尺寸微型化、可与信号处理电路集成、低成本、大批量生产的优点。早期微型麦克风是基于压阻效应的，有研究报道称，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜为敏感膜的麦克风。但是，在敏感膜内不存在应力的情况下，这样大并且很薄的多晶硅膜的一阶谐振频率将低于300Hz。一阶谐振频率在这样低的频段范围内将导致麦克风在听觉频率范围内的频率响应极不均匀(灵敏度的变化量大于40dB)，这对于麦克风应用是不可接受的。当敏感膜内存在张应力时，其谐振频率将增大，却以**灵敏度为代价。当然，可以通过调整敏感膜的尺寸来获得更高的一阶谐振频率，但是这仍将减小灵敏度。由此可见，压阻式方案并不适于微型麦克风的制造 [3]  。一种可行的解决方案就是采用电容式方案，来制造微型麦克风。盐田区多功能麦克风资费

信号噪声比用传声器输出信号电压与传声器内在噪声电压比值的对数值来衡量。一般质量电容式传声器的S/N值为55~57dB [6]  。动态范围动态范围小，会引起声音失真，音质变坏，因此要求足够大的动态范围 [6]  。等效噪声级声波的声压作用在传声器上所产生的输出电压同传声器本身固有噪声产生的输出电压相等，该声波声压就等于传声器的等效噪声级 [6]  。总谐波失真(THD)谐波失真是指输出信号比输入信号多出的谐波成分。谐波失真由于系统不是完全线性造成的。所有附加谐波电平之和称为总谐波失真。一般说来，500Hz频率处的总谐波失真**小，因此不少产品均以该频率的失真作为它的指标。总谐波失真在1%以F，入耳分辨不出来，超过10%就可以明显听出失真的成分。数值越小，音色就更加纯净，表明产品品质越高。一般产品的总谐波失真都小于1%（以500Hz频率测量） [6]  。福田区多功能麦克风货源充足对于铝带麦克风来说，其使用的铝带既是麦克风膜片，又是在磁场中运动的导体。

大多数麦克风都是驻极体电容器麦克风（ECM），这种技术已经有几十年的历史。ECM 的工作原理是利用具有长久电荷隔离的聚合材料振动膜。与ECM的聚合材料振动膜相比，MEMS麦克风在不同温度下的性能都十分稳定，不会受温度、振动、湿度和时间的影响。由于耐热性强，MEMS麦克风可承受260℃的高温回流焊，而性能不会有任何变化。由于组装前后敏感性变化很小，这甚至可以节省制造过程中的音频调试成本。目前，集成电路工艺正越来越***地被应用在传感器及传感器接口集成电路的制造中。

电容型电容式麦克风有两块金属极板，其中一块表面涂有驻极体薄膜（多数为聚全氟乙丙烯）并将其接地，另一极板接在场效应晶体管的栅极上，栅极与源极之间接有一个二极管。当驻极体膜片本身带有电荷，表面电荷地电量为Q，板极间地电容量为C，则在极头上产生地电压U=Q/C，当受到振动或受到气流地摩擦时，由于振动使两极板间的距离改变，即电容C改变，而电量Q不变，就会引起电压的变化，电压变化的大小，反映了外界声压的强弱，这种电压变化频率反映了外界声音的频率，这就是驻极体传声器地工作原理 [2]  。麦克风是将声音信号转换为电信号的能量转换器件。

灵敏度指麦克风的开路电压与作用在其膜片上的声压之比。实际上，麦克风在声场必然会引起声场散射，所以灵敏度有两种定义。一种是实际作用于膜片上的声压，称为声压灵敏度，另一种是指麦克风未置入声场的声场声压，称为声场灵敏度，其中声场灵敏度又分为自由场灵敏度和扩散场灵敏度。通常录音用麦克风给出声压灵敏度，测量用麦克风因应用类型给出声压或声场灵敏度 [5]  。灵敏度的单位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用灵敏度级来表示，参考灵敏度为1V/Pa [5]  。常见的商用麦克风类型有电容式麦克风、晶体麦克风碳质麦克风以及动态麦克风。罗湖区防护麦克风货源充足

常用的电容式麦克风使用的能量源有两种：直流偏置电源和驻极体薄膜。盐田区多功能麦克风资费

一种可行的解决方案就是采用电容式方案，来制造微型麦克风。这一方法的优点就是：在集成电路制造工艺中使用的所有材料都可用于传感器的制造。但是采用单芯片工艺制造微麦克风有相当难度，因为在两个电容极板之间的空气介质只能有很小的间隔。而且，由于尺寸的限制，在一些应用场合偏置电压很难满足。基于上述问题，对于电容式麦克风的研究一直没有间断过 [3]  。相比传统的驻极体麦克风，微机电系统（micro-electro-mechanical systems，MEMS）麦克风拥有体积小、耐热性好、一致性好、稳定性好、可靠性高、抗射频干扰等优势，还可以输出数字信号并有利于智能化发展，其市场规模在近10年保持快速增长的势头，各种新兴应用层出不穷，从智能手机到智能音箱，再到真无线立体声（true wireless stereo，TWS）耳机。 [9]盐田区多功能麦克风资费

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