双面平面研磨机的工作原理：上、下研磨盘作相反方向转动，工件在磨盘内作既公转又自转的游星运动。利用夹具将上工件，磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制。双面研磨机的装置包括两个研磨盘，游轮，四个电机，太阳轮，修面机等。两者相比较，双面研磨机的构造相对要复杂一些，但是如果需要双面研磨的工件用双面机进行研磨比单面机的效率无形中要快一倍。这种双面研磨的诞生和发展为很多行业的生产效率带来了改良。用的比较多的有光学玻璃行业的硅片，蓝宝石衬底，外延片等等。在密封面表面形成氧化膜提高密封面质量。上海五金平磨平面加工价格
根据螺旋槽间距不同设置不同的磨盘转速(假如要加工2mm间距螺旋槽，则磨盘转速调整为40rpm)，然后依次启动磨盘与修面机，建议加工螺旋槽时修面机由磨盘中心向磨盘外圆方向运行。“磨盘启动”键，界面将会跳回可视化运行状态窗口。1：选择“自动参数”进入配方编辑界面，依次输入配方名，磨盘速度，研磨时间，压力，磨液型号，然后点击下载，参数将会自动保存并下载到PLC中，按下“磨盘启动”键，界面跳回可视化运行状态窗口，加工到达设定的研磨时间，磨盘停止工作并报警，同时3个工位的砝码装置将自动上升。2搅拌滴液系统：由有机玻璃桶、有机玻璃盖、减速机和搅拌杆、滴液管组成，它的工作原理是搅拌启动研磨液会自动能过滴液管流到研磨盘上，根据要求可调节流量大小(具体调节见滴液泵说明书)。3气缸升降操作：工件研磨(或抛光)的压力是由砝码提供，其升降运动由气缸实现，每工位的气缸单独控制，顶架上的手动阀和启动按钮分别控制相对应的气缸进行上升或下降动作。初次操作时应注意调整气缸(或砝码)的中心与产品冶具的中心相是否同心，使砝码的定位止口能顺利配合进入工件冶具的定位孔。4研磨流程操作：该界面可设定多组参数，满足不同的工艺要求。
上海五金平磨平面加工价格考虑采用平台或平板研具对零件进行研磨，密封面平面度要求0.01。
常见问题：问题因由解决方法工件表面出现震纹砂轮:重量不平衡调较砂轮平行器砂号太幼密度太高硬度太高使用较粗的砂轮使用较低密度的砂轮使用较低硬度的砂轮冼石不正确更换锋利的洗石笔加快洗石笔洗石速度安装不稳检查及重新安装周边与主轴不同心进行洗石及检查安装机床:主轴轴承损耗检查及维修主轴工件表面不平砂轮:磨料太软更换较耐磨的砂轮砂号太粗密度太低阔度太薄使用较幼的砂轮使用较高密度的砂轮使用较厚的砂轮冼石不正确更换锋利的洗石笔减慢洗石笔洗石速度安装不稳检查及重新安装重量不平衡调较砂轮平行器机床:主轴轴承损耗或机架变形检查及维修主轴或换机工件表面光洁度不足砂轮:重量不平衡调较砂轮平行器砂号太粗密度太低硬度太低使用较幼的砂轮使用较高密度的砂轮使用较高硬度的砂轮冼石不正确更换锋利的洗石笔减慢洗石笔洗石速度安装不稳检查及重新安装冷却液不清洁检查冷却液过泸情况机床:主轴轴承损耗检查及维修主轴工件表面烧伤砂轮:砂号太幼密度太高硬度太高使用较粗的砂轮使用较低密度的砂轮使用较低硬度的砂轮工序:工作台移动太慢进给率太深加快工作台移动速度减少进刀量冼石不正确更换锋利的洗石笔加快洗石笔洗石速度冷却液:不清洁使用型号不适当流量。
磨料对平面抛光效果的影响平面抛光过程中磨料的作用是借助于机械力，将晶片表而经化学反应后形成的钝化膜去除，从而达到表而平整化的目的。日前常用的磨料有胶体SiO2、Al2O3及CeO2等。磨料的种类决定了磨粒的硬度、尺寸，从而影响抛光效果。抛光铝实验中，相对于SiO2、Al2O3磨料能获得较好的表而平整度，表而刮痕数量少、尺寸小，其原因是胶体SiO2磨粒尺寸小，抛光时磨料嵌入晶片表面的深度较小，并且在推荐其它参数的情况下，也能获得很高的抛光效率。磨料的浓度会影响抛光效果。抛光铝实验中，随着磨料(胶体SiO2)浓度的提高，单位而积参与磨削的磨粒数日增加，所以抛光效率提高，表而刮痕尺寸缓慢增人或基本保持不变;但磨料浓度过人时，抛光液的粘性增人，流动性降低，影响加工表而氧化层的有效形成，导致抛光效率降低。磨粒的尺寸也会对抛光效果产生影响，磨粒尺寸越小，表而损伤层厚度小。据统计，在硅片的精抛过程中，每次磨削层的厚度为磨粒尺寸的四分之一。为了有效地减小表而粗糙度和损伤层厚度，通常采用小尺寸的胶体硅(15~20nm)来代替粗抛时的胶体硅(50~70rnm);同时通过加强化学反应及提高产物的排除速度来提高抛光效率。 硬度控制在170HB~220HB之内。
首先对于蓝宝石基板来说，它在成为一片合格的衬底之前大约经历了从切割、粗磨、精磨、以及抛光几道工序。以2英寸蓝宝石为例：1.切割：切割是从蓝宝石晶棒通过线切割机切割成厚度在500um左右。在这项制程中，金刚石线锯是主要的耗材，目前主要来自日本、韩国与中国台湾地区。2.粗抛：切割之后的蓝宝石表面非常粗糙，需要进行粗抛以修复较深的刮伤，改善整体的平坦度。这一步主要采用50~80um的B4C加Coolant进行研磨，研磨之后表面粗糙度Ra大约在1um左右。3.精抛：接下来是较精细的加工，因为直接关系到成品的良率与品质。目前标准化的2英寸蓝宝石基板的厚度为430um，因此精抛的总去除量约在30um左右。考虑到移除率与的表面粗糙度Ra，这一步主要以多晶钻石液配合树脂锡盘以Lapping的方式进行加工。大多数蓝宝石基板厂家为了追求稳定性，多采用日本的研磨机台以及原厂的多晶钻石液。但是随着成本压力的升高以及国内耗材水准的提升，目前国内的耗材产品已经可以替代原厂产品，并且明显降低成本。说到多晶钻石液不妨多说两句，对于多晶钻石液的微粉部分，一般要求颗粒度要集中，形貌要规整，这样可以提供持久的切削力且表面刮伤比较均匀。
短时内磨料无明显沉淀现象为准。上海五金平磨平面加工价格
粗糙度要求控制在Ra0.8以内，粗糙度不高，变相增加研磨量江都研磨效率。上海五金平磨平面加工价格
平面抛光机在使用磨料进行加工的各道研磨工序中，被研表面光洁度主要是大量磨粒切削刃尖在被研表面上所形成的无数切痕互相重迭的结果。从总的方面来说，被研表面光洁度的高低，取决于磨粒的粗细，或者说取决于磨粒压下工件表面的深度及通过工件单位横截表面的有效磨粒数量。但在实际研磨过程中，并不仅是选择了细的磨料(如)，就能研出理想的表面光洁度来(如▽14)，还有很多因素影响工件在平面抛光机中的研磨质量。试作如下分析：选择合适的磨料粒度磨料的粒度愈小，获得的表面光洁度就愈高。如要进一步提高表面光洁度，可对使用的磨料再次分选，这样使磨粒的大小均匀程度及基本颗粒的数量比，都可以得到改善。对一般的敷砂研磨来说，滚动的磨粒数量愈少，表面光洁度愈就高。为了提高表面光洁度，可用浸煤油的棉花将敷砂粒擦净，再作一次干研磨，其加工量为～1微米。当研磨软质材料工件时，磨粒容易嵌入工件表面，使研痕加深，从而破坏了表面光洁度。为了得到较高的表面光洁度，可采用嵌砂研具或者材质软的研具进行研磨。一般说来，被研表面光洁度是随着被研工件材料硬度的增加而得到改善的，因此，对于淬硬钢工件表面光洁度的提高，可通过提高淬火硬度的方法来达到。
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