用电离计检漏时，示漏物质应选用电离效果与残余气体有可能大差异者，电离效果包括电离率及电离电位两者的综合结果，一般用氢，氦，二氧化碳等。用热真空计检漏时，示漏物质可用氢，二氧化碳，。酒精等。一般说来，用气体喷吹用液体覆盖为好，因为液体往往会堵塞漏孔，还会污染真空系统或器件，热真空计因为惯性大，反应慢，检漏时巡喷速度不宜过快，并仔细观察，认真判别是系统的压强波动，仪器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物质离开后，仪器指示恢复原状的，才是真正的漏孔。隔膜真空计是用于系统中检测腔体或管道压力的关键元器件。衢州带控制型真空计厂家推荐
如果两侧压强差很大，则隔膜可能发生永玖变形甚至破损。通常情况下，为了防止隔膜过度变形，在电极和隔膜之间施加直流电压，通过静电引力使隔膜不发生变形。通过测量直流电压值，即可知压强，这种真空计被称为单电容隔膜真空计。在隔膜两侧分别设置电极而实现的差动式双电容隔膜真空计，进一步提高了测量精度和范围。隔膜材料通常使用厚度为几十微米的因科内尔铬镍铁合金。为避免腐蚀气体的腐蚀，也有使用陶瓷隔膜的产品。电容式隔膜真空计测量的真空度与气体成分无关，反应快、重复性高，非常适合于氧气及油蒸气等特殊环境的真空测量。烟台带控制型真空计批发厂家真空计开始执行任何工作之前，要查看真空部件是否被污染。
我们在进等离子体化学气相沉积硬膜实验中采用了间接测量压力的ZDZ型电阻真空计,这种真空计是用氮气来标定的。若测量系统中有其他气体存在时,测量误差大,直接影响到试验的准确性。在氮气体流量为100sccm时,用ZDZ型电阻真空计测量的气压约为20Pa,而氢气流量为100sccm时,所测的气压约为50Pa;在氮气流量为500sccm时,所测的气压约为65Pa,而在氢气流量为500sccm时,所测的气压达到300Pa。为了对电阻真空计在测量不同气体时的气压进行标定,我们采用直接测量的麦克劳真空计作为标准,对不同流量的氢气、氮气、氩气和甲烷气分别用电阻真空计和麦克劳真空计进行测量。
电阻真空计（thermocouplevacuumgauge）的工作原理是：当气体分子平均自由程大于容器的线度时，它的热传导系数正比于压强。将一根金属丝通以恒定的加热电流时，由于气体导走了一部分热量，故当达到热平衡时，金属丝便保持一定的温度。气体的压强高，导走的热量多，平衡温度就低。所以金属丝的温度是气体压强的函数，可以通过测量金属丝的温度而求得压强的大小。热偶真空计即是用一电阻来测量热丝的温度从而得到压强值的真空计。电阻由两种不同的金属丝连接而成，当两接点温度不同时就产生热电势，温差越大，热电势越高。电阻的一个接点与热丝相接触，另一接点处于室温，这样经过校正，即可由热电势的值转换为压强的值。它的测压范围为1～10-3pa。在使用之前，先将真空排气管向上拎起，让真空表放在下面。
真空计是基于皮拉尼真空计的热传导原理设计，配备集成的继电器输出，适合工艺控制。还带有LED环，可显示真空计的状态。真空计的可靠性高，操作简単，测量结果重复性好，可持续监视若干测量地点，安装简单并且节省成本和空间。真空计间接压力测量是通过测量气体与压力有关的性质（例如热导率、电离概率）进行间接测量的，因此间接压力测量的结果取决于具体的气体类型。测量读数是以空气或氮气为测量气体时的读数，对于其它气体，可利用修正因数修正测量读数。真空泵用真空计还配置数字接口或者触碰显示器。带有镀膜适合腐蚀性应用。真空计一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化气压的测量。东营带控制型真空计直销厂家
电阻真空计是凭借热丝电阻的变化反映压力的。衢州带控制型真空计厂家推荐
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行，真空计使用完毕应立即回复横卧状态，横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处，可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管，可用机械真空泵对真空计抽气，并往复摆动真空计，使化学物质珠回流。仍未见效，则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热，利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧，先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度，化学物质受污染会影响测量的精度。真空计短期内不使用，可用铁扎头扎紧橡皮管，用纱布拭去橡皮管的油脂，再用塞头堵塞内经，置于干燥、通风、避光处保存。衢州带控制型真空计厂家推荐
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