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来源: 发布时间:2022年03月31日

压缩式真空计是对U型管真空计的重大改进,它是依据理想气体的波义耳定律制成的。由于它首先是由麦克劳提出的,故此种真空计又称为麦克劳真空计(简称麦氏计)。压缩式真空计是测量压力低于1Pa实用的对的真空计,并且从1874年至今仍做为校准其它真空计的主要仪器。测量前将压缩式真空计的导管与被测系统相连接,由于系统内压力各处相等,所以玻璃泡和测量毛细管内的压力与待测系统内的压力p相等。在刻度过程中,h1可选其等于任意值,选定一个值(一条基准线)就可有一对应的刻度尺,因此,同一台压缩式真空计可同时选定几个h1值,就可有对应的几个不同的刻度尺。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计会成为热传导真空计。东北三省数显电阻真空表厂家推荐

我们在进等离子体化学气相沉积硬膜实验中采用了间接测量压力的ZDZ型电阻真空计,这种真空计是用氮气来标定的。若测量系统中有其他气体存在时,测量误差大,直接影响到试验的准确性。在氮气体流量为100sccm时,用ZDZ型电阻真空计测量的气压约为20Pa,而氢气流量为100sccm时,所测的气压约为50Pa;在氮气流量为500sccm时,所测的气压约为65Pa,而在氢气流量为500sccm时,所测的气压达到300Pa。为了对电阻真空计在测量不同气体时的气压进行标定,我们采用直接测量的麦克劳真空计作为标准,对不同流量的氢气、氮气、氩气和甲烷气分别用电阻真空计和麦克劳真空计进行测量。府谷县电阻真空计供应商在使用之前,先将真空排气管向上拎起,让真空表放在下面。

热导式真空计测量值跟气体成分有关,在相同的真空压力条件下,水蒸气的热导率是氮气的1.6倍,因此在一次干燥过程当中,电阻真空计测得值比电容真空计测得值高约为60%。在接近一次升华干燥终点时,冻干箱内部水蒸气逐渐减少,不凝性气体(以氮气为主)逐渐增多,因此电阻真空计测得压力值随着一次干燥过程的进行,逐渐在减小。当电阻真空计测得值与电容真空计测得值接近时可以判断一次干燥过程结束。但是由于电阻真空计自身存在的一些性能缺点,限制了该方法的使用。电阻真空计易出现老化现象,使其性能降低;电阻真空计有较大的热惯性,压强改变时,其读数会滞后一些时间;其受外界温度的影响较大,必须安装于不易受辐射或对流热影响的地方。

测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。麦氏真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。麦氏真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。电阻真空计易出现老化现象,使其性能降低。

众所周知,真空计具有简单、经济、使用方便等特点,在中真空以至低真空测量中都占有重要的地位。然而,我们发现它的规管虽然简单,但由于丝细而长比较脆弱,经不起振动和气流冲击,同时丝表面对污染较为敏感,即使采用白金丝或镀金钨丝,稳定性仍然很差。电阻真空计属热导真空计,产生于1906年,但只是在40年代解决了细丝焊接问题之后,它才得到实际应用。由于它相对皮氏计而言,更为简单、可靠,在许多地方代替了皮氏计。不过,迄今为止,商售热偶真空计单限于定流式一种,一般测盆上限单为100Pa。电阻真空计,基于定温和对流原理,采用稳定型热偶真空规管和现代电子器件,成功地把测量上限扩展至大气压,并弥补了皮氏计的不足之处,为热导真空计的广泛应用开拓了新的前景。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。衢州皮拉尼真空表报价

电阻真空计由电阻规管和测量仪表单元组成。东北三省数显电阻真空表厂家推荐

隔膜真空计是用于系统中检测腔体或管道压力的关键元器件,就隔膜真空计本身而言,根据其测量原理以及量程,精度,组织构造,分为很多种类型,这给实际使用中的隔膜真空计选型带来了一定的难度,本文旨在提供一种统一的选型思路,两步法快速帮助您快速定位所需的隔膜真空计种类。对于每一个等级内的真空度,较佳的测量仪器是不一样的,具体来说,若处于中低真空的范围,通常选用皮拉尼电阻规隔膜真空计,若处于高真空或者超高真空的范围,则只能选择电离规。需要注意的是,皮拉尼电阻规原理特性决定其在靠近大气端测量误差较大,且对气体种类敏感,因此若设备的工作真空度在10^3Pa以上,或者过程中对这个区域的真空度需要监控,而且要求测量精度很高,则不宜选择单纯的皮拉尼隔膜真空计,可以考虑皮拉尼与膜片电容复合的隔膜真空计。东北三省数显电阻真空表厂家推荐

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