新型解决方案耗材

光波干涉法常利用平晶进行，图为测量所得的不同干涉条纹。图中a的干涉条纹是直的，而且间距相等，只在周边上稍有弯曲。这说明被检验表面是平的，但与光学平晶不平行，而且在圆周部分有微小的偏差。图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等，表明被检验表面是球形的，平晶有微小倾斜。条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍，表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中c的干涉条纹呈圆形，同样表明被检验表面是球形表面。将条纹数目乘以所用光束波长的一半，即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中d的干涉条纹成椭圆形排列，说明被检验表面是桶形的。可以把干涉图案作为被检验表面的等高线，因此可以画出该表面的形状。这种方法只适宜测量高光洁表面，测量面积也较小，但测量精确度很高。如果解决方案本身有欠缺，那么可能在执行中导致更多的问题，达不到预期的效果。新型解决方案耗材

7.单支柱移动型(Movingtablecantileverarmtype)

单支柱移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱整体沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴，而轴连接于支柱上。测量台沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴和轴。此型测量台面、支柱等具很好的刚性，因此变形少，且各轴的线性刻度尺与测量轴较接近，以符合阿贝定理。

8.单支柱测量台移动型(Singlecolumnxytabletype)

单支柱测量台移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱上附有轴导槽，支柱被固定在测量仪本体上。测量时，测量台在水平面上沿着轴和轴方向作移动。 浙江解决方案按需定制信息化行业市场拓展策略。

主要特征

三轴采用天然高精密花岗岩导轨，保证了整体具有相同的热力学性能，避免由于三轴材质不同热膨胀系数不同所造成的机器精度误差。

花岗岩与航空铝合金的比较

1.铝合金材料热膨胀系数大。一般使用航空铝合金材料的横梁和Z轴在使用几年之后，三坐标的测量基准——光栅尺就会受损，精度改变。

2.由于三坐标的平台是花岗岩结构，这样三坐标的主轴也是花岗岩材质。主轴采用花岗岩而横梁和Z轴采用铝合金等其他材质，在温度变化时会因为三轴的热膨胀系数不均同而引起测量精度的失真和稳定。

面片扫描(Patch Scan)

(3)CAD曲面模型方式

该扫描方式只适用于有CAD曲面模型的工件。首先选定“面片扫描”方式，左键点击CAD工作表面；加亮“边界点”对话框中的“1”，左键点击曲面上的扫描起始点；然后加亮“D”，点击曲面定义方向点；点击曲面定义扫描宽度(#2)；点击曲面定义扫描上宽度(#3)；点击“3”，选择“添加”，添加附加点“4”，加亮“4”，点击定义扫描终止点，关闭对话框。定义两个方向的步长及选择所需选项后，点击“创建”。 白光干涉仪运用解决方案。

测量方法和评定方法不同，数据处理的方法也不相同。选定某一测量方法和评定方法，可能直接得到实际表面的平面度误差值，如采用打表法进行测量，再用对角线法评定其平面度误差，则可不必进行数据处理，可直接得到测量结果；采用水平仪进行测量，则不论采用何种评定方法，均需进行数据处理；而对于任何一种测量方法，如果按较小区域法来评定其平面度误差，都必须进行数据处理才能得到平面度误差值。另外，还应注意到，测量基准面和评定基准面一般是不重合的（或说不平行的）。交互是多重性的，重复性的。质量解决方案加装

这个问题是否侧面反映了其他的潜在问题，怎样避免这些问题，本次的解决方案有哪些经验积累等等类似的思考。新型解决方案耗材

5.L形桥架型(L-Shpaedbridgetype)

L形桥架型，这个设计乃是为了使桥架在轴移动时有较小的惯性而作的改变。它与移动桥架型相比较，移动组件的惯性较少，因此操作较容易，但刚性较差。

6.轴移动悬臂型(Fixedtablecantileverarmtype)

轴移动悬臂型，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直轴的水平悬臂梁在轴方向移动，悬臂梁沿着在水平面的导槽在轴方向移动，且垂直于轴和轴。此型为三边开放，容易装拆工件，且工件可以伸出台面即可容纳较大工件，但因悬臂会造成精度不高。 新型解决方案耗材

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