自动氦检设备原理

氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号，而对其他气体没有反应，属于唯1性氦检仪器。检漏过程中，一旦出现信号，就说明有氦气通过漏孔进入被检件，从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体，主要是因为氦质量轻，易于穿过漏孔，扩散快，对分析设备制造的要求相对简单；同时氦气在空气中含量少，本底压力小，又为惰性气体，不易发生反应等等，都为提高仪器灵敏度创造了条件。氦检仪在压力容器中的常用方法有哪些？自动氦检设备原理

氦检仪开机如何操作？1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。氦检仪技术指导为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施。

氦检仪灵敏度降低应该如何维护？当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候，就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使氦检仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦检仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦检仪漏率的校准方法：一、环境条件，校准环境温度为(23±5)℃，校准过程中室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度较好控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择，标准器采用渗氦型标准漏孔，漏率标称值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不确定度不大于10%。精密玻璃温度计，测量范围(0～50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。氦质谱检漏仪的电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同。

氦检仪本底漏率值是什么？本底值是指由所处环境所形成的较稳定的辐射水平或声量，由于氦气在空气中的体积含量约为5ppm，5.24×10-6，也就是百万分之五左右，这说明正常空气环境中氦气的含量很小，即氦本底很好。这也是用氦气作为示踪气体的重要原因之一。只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小.正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来。本底高一般都是泄漏的原因，建议检查阀有没有内漏，试试增加清扫气体的压力，但是也不能过高，因为会影响抽空效率。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。小型氦气检测设备报价

氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。自动氦检设备原理

氦检仪在无源器件中的检漏应用：无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法：由于无源器件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，我们采用“背压法”检漏，具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐，压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件，使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐，测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪，开始检漏。自动氦检设备原理

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