国产氦气检测机生产厂家

氦检仪的组成部分有哪些？真空系统：冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离，冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。检漏阀。按在质谱室和被检件之间的管道上。真空规。一般采用冷阴极磁控放电真室规来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。标准漏孔。一般仪器内都附有标准漏孔，用它来校准仪器的较小可检漏率和对仪器输出指示进行定标。氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理要求是什么？国产氦气检测机生产厂家

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。小型氦检设备厂家推荐氦检仪有漏率灵敏度参数，它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度。

选择氦检仪时主要考虑以下问题：（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合正压法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的氦检仪。（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的氦检仪。（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的氦检仪，否则就要外加预抽泵。（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的氦检仪。（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

氦检仪在真空度校验中有什么应用？氦是一种惰性气体，不会对设备产生腐蚀，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小，常作为泄漏气体使用。在接有氦检仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体，如果容器有漏孔，分析仪就会发出响声，从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术，由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点，在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。

氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。掌握和了解氦检仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。自动氦气检测设备厂家

有些国家生产的氦检仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果。国产氦气检测机生产厂家

任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是汽车管路作为汽车转配中的重要零部件，关系着车辆和乘员的安全。良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要!传统的检漏方法：如加压水检法、压差法、卤素检漏法，在检漏速度、精度及环保性能上都有一定程度的缺陷，而氦检漏技术，是集真空技术、计算机技术及质谱技术为一体的应用技术，为汽车空调两器及管路提供专业的检漏方案。氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用，氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入氦检仪的质谱室中，使氦检仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。此款氦检仪坚固耐用，抗震性能极强，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。国产氦气检测机生产厂家

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