氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到合适的值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。在使用氦质谱检漏仪对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解。南京多功能氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。现今生产的氦质谱检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。杭州便携式氦质谱检漏仪价钱氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。
氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成的质谱室、抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的特定仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确。
氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪的特点：1.操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；2.性能高：采用了进口检漏仪仪分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，响应时间快，检测压强高；3.功能强大：多种模自动切换，丰富的菜单选项，具有权限管理功能。使用氦质谱检漏仪时要注意安全。
氦质谱检漏仪的优点集中体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。氦质谱检漏仪使用时需要注意哪些事项？杭州便携式氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪应在施工工作完成后进行本测试。南京多功能氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪的选择：1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。5、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。南京多功能氦质谱检漏仪工作原理
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