氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。常州分体式氦质谱检漏仪厂家
氦质谱检漏仪的主要性能指标：1、可检漏率：即氦质谱检漏仪所能检出的漏孔的漏率。2、响应(消除)时间：指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后，电子和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示才能达到较大值；反之，停止供气后，漏率指示不能立即回零，需要一定时间的下降过程，通常由于氦气的吸附和脱附作用，消除时间稍长于响应时间。3、启动时间：指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。要注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。杭州移动式氦质谱检漏仪厂家禁止任何外来物掉在或洒在氦质谱检漏仪上，尤其是进气口中。
氦质谱检漏仪详细操作步骤：1、插上电源，打开氦质谱检漏仪总开关。等待2分钟，当听到一阵风鸣声之后说明氦质谱检漏仪已完全启动。2、查看氦质谱检漏仪装置确保检漏参数未被更改，氦质谱检漏仪运行正常。打开氦质谱检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；Z后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。3、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。
氦质谱检漏仪适用于元件精确检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于精确的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。常见的氦质谱检漏仪检测仪方法有漏点型、漏率型两种。氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦质谱检漏仪，顾名思义一般都会采用氦气作为主要的示漏气体。
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。温州便携式氦质谱检漏仪注意事项
氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。常州分体式氦质谱检漏仪厂家
氦质谱检漏仪使用时的注意事项：一、充注检漏气体前，试件必须抽空，为了正确试漏，在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的，特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。如果充注前未抽空，试件中的空气将被挤压至几何空间的终端，而检漏气体不可能进入这个部位，从而潜在的漏孔将只释放空气，检漏仪则不能检测到这些漏孔。二、检漏气体测试前切勿使用水槽试漏，检漏气体测试的漏孔通常非常微小或者是狭长的毛细管，如果在检漏气体测试前将漏孔置于水槽中，这些漏孔或者毛细管则将被水堵塞或充满，而堵在漏孔中的水因为表面张力的原因，会非常不易从小孔中驱逐，从而影响检漏结果。解决这一问题的办法，只能通过漫长的干燥过程来排除这些水分。常州分体式氦质谱检漏仪厂家
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