氦质谱检漏仪，针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100kPa下的漏率，采用定容变压法校准了铭牌漏率为×10-6Pa·m3/s的标准真空漏孔在使用H2、He、D2三种气体时，在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小，并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。近年来，真空漏孔越来越多地应用于航空航天、电子工业、电力工业及制冷工业等领域。真空漏孔是向真空端（出口压力小于1000Pa）提供稳定气体流量的装置，目前，氦质谱检漏仪国内外很多计量实验室和研究机构都建立了相应的校准装置，常用的漏率校准方法有定容法、恒压法氦质谱检漏仪、质谱比较法、固定流导法、分流法等等。其中定容变压法适于校准漏率较大的漏孔，设备与操作简单，对漏孔校准精度较高。 维护氦质谱检漏仪可以利用附送的防护罩防止灰尘、水汽、油脂阻塞探头。宁波小型氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。使用氦气喷口在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。安徽自动氦质谱检漏仪技术指导氦质谱检漏仪灵敏度降低应该如何维护？
氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理：一、机械维护，检查泵的油量，如果低于低标线，则加入泵油；如果变黑或浑浊，则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗，泄漏探测器没有氦进入，但有一定的泄漏率指示，长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气，在检漏时又被释放，造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，在氦质谱检漏仪下方设置过滤器，将其拆下，用酒精浸泡清洗。检查泄漏，用棉布擦拭波纹管。三、处理以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电:1.电源线连接不当；2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。
氦质谱检漏仪的结构组成：它通过质谱室的重点供电和测量，所以作为供电的重点部分，其中一部分属于真空部分，对这部分的重点检测要求非常高，通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小，由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小，必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器，低频发生器产生频率为5~7Hz，振幅为14~16V的调制电压，该电压叠加在加速电压上，实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流，从而保持灯丝发射电流稳定，提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节，以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值，由仪器显示，其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时，放电电流增大，使继电器动作，然后切断灯丝加热电流，保护灯丝不被烧毁。氦质谱检漏仪真空压力法主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品。
氦质谱检漏仪的分类与结构和工作原理氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得较普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，较广地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显祝减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪，氦检仪的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪有哪些结构？南京台式氦质谱检漏仪多少钱
氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法有哪些？宁波小型氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是利用氦（He）原子和漏失气体之间的原子碰撞原理来实现检测漏失量的。当氦原子和漏失气体中的原子发生碰撞时，氦检仪会产生一种氦原子的能量谱线，氦检仪仪器根据这个能量谱线的强弱来检测漏失气体的数量。2、氦质谱检漏仪的工作过程（1）首先，将气体放入检测仪内，打开电源，使气体在连接管路中循环流动；（2）将氦原子以高速喷射方式产生，使其进入氦检仪；（3）漏失气体及氦原子在仪器内进行碰撞，产生能量谱；（4）再将流过检测仪内，接入仪器的探测器，探测器对能量谱线进行测量；（5）**后，仪器根据探测器的信号，经计算机处理后，计算出漏失气体的总量，而氦谱仪即可显示出检测结果。 宁波小型氦质谱检漏仪