检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。检漏仪的日常运转之中可以方便的将检测的数据输出并且进行查询。滁州分体式检漏设备
检漏仪是利用氦气作为示漏气体，用气体分析仪对氦气进行检漏的质谱仪。在接有检漏仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体，如果容器有漏孔，分析仪就会发出响声，从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术，由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点，在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。试验后，质谱仪系统将对气泡体及连接管内气体进行主动分析。为确保实验结果的准确性，所有鼓泡器中水、氧和溶剂的浓度都必须小于1ppm。测试后，应提醒操作者测试结果是否合格，并记录所有的测试数据，以便追踪。江苏便携式检漏仪使用方法检漏仪在各个领域的应用有三种关键检漏方法，即正压吸口式、真空泵检漏、工作压力真空泵检漏。
检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。
使用检漏仪必须注意以下几点：第1，不要随意拔出配管：检漏仪处于加压状态，禁止拔出连接仪器和减压阀之间的配管接头。不然大量的压缩空气被吹出，会对人体有害。不得挤压：不得踩仪器或坐在仪器上，不得将其它物品放置在仪器上。第二，一般情况下，真空检漏时要重点关注以下部位：(1)法兰接口部位；(2)焊接部位；(3)波纹管部位；(4)其他密封部位。第三，(1)对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。(2)喷氦时应经常检查喷口口是否有氦气喷出。(3)检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。(4)对同一工件，如有两处以上漏点，应排除Zda的漏点后，再对其它地方检漏。(5)装工件时应使连接处密封好，不能有漏。氦质谱检漏仪的灵敏度很高，可以检出很小的漏孔。
检漏仪启动流程：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。上海推车式检漏仪原理
在选购氦质谱检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求。滁州分体式检漏设备
检漏仪是怎样检漏的呢？ 氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。检测时首先探测到氦气的露数，得到氦气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏常见的有六种氦检方法：1. 喷氦/喷口法;真空测漏法是业内经常使用的一种检漏方法, 普遍应用于精密仪器, 真空钎焊, 压力容器等行业；2. 吸口法/正压法；氦质谱检漏正压吸口法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。3. 真空累积测漏法；4. 背压法；背压法氦质谱检测优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；5. 真空累积法；6. 常压吸口累积法：常压吸口累积法普遍应用于航空航天领域；滁州分体式检漏设备
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